[發明專利]一種氧化物靶材及其制備方法

在審

• 申請號: 202211636891.0
• 申請日: 2022-12-16
• 公開（公告）號: CN116199497A
• 公開（公告）日: 2023-06-02
• 發明（設計）人: 徐苗;徐華;李民;陶洪;鄒建華;王磊;彭俊彪
• 申請（專利權）人: 華南理工大學
• 主分類號: C04B35/01
• 分類號: C04B35/01;C04B35/622;C04B35/638
• 代理公司: 廣州容大知識產權代理事務所(普通合伙) 44326
• 代理人: 溫純

1.一種氧化物靶材，其特征在于，包括元素A的氧化物、元素B的氧化物、元素R的氧化物和元素M的氧化物；

所述元素A為銦；

所述元素B為鎵、鋅、錫中的一種或兩種以上的組合；

所述元素R為鈰、鐠、鐿、鏑、鋱中的一種或兩種以上的組合；

所述元素M為鈧，硅，鈦，鉭，鍺，銻的一種或兩種以上組合。

2.根據權利要求1所述的氧化物靶材，其特征在于，元素A，B，R和M在氧化物靶材中的原子摩爾比分別為x，y，z和m，其中0.6≤x≤0.9994，0≤y≤0.3994，0.0005≤z≤0.05，0.001≤m≤0.02，x+y+z+m＝1。

3.根據權利要求2所述的氧化物靶材，其特征在于，0.76≤x≤0.9994，0.005≤m≤0.015。

4.根據權利要求1所述的氧化物靶材，其特征在于，氧化物靶材的電阻率小于10mΩ·cm，氧化物靶材的相對密度為98.5％以上。

5.根據權利要求1所述的氧化物靶材，其特征在于，氧化物靶材晶粒的最大粒徑尺寸小于8μm。

6.權利要求1～5任意一項所述的氧化物靶材的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1、將粉體壓制成靶材素坯；

步驟2、將靶材素坯干燥后進行脫脂處理；

步驟3、將脫脂后的靶材素坯在氣體環境中以第一升溫速率繼續升溫到第一燒結溫度燒結，然后以第二升溫速率繼續升溫至第二燒結溫度燒結，最后以第一降溫速率降溫至第一燒結溫度繼續燒結；

步驟4、燒結結束后，在氣體環境下以第二降溫速率進行降溫直至室溫，得到靶材燒結體；

步驟5：將靶材燒結體加工、綁定。

7.根據權利要求6所述的氧化物靶材的制備方法，其特征在于，步驟2所述脫脂處理為將靶材素坯先以0.2～1℃/min的升溫速率升至600～800℃；脫脂時間為50～100小時。

8.根據權利要求6所述的氧化物靶材的制備方法，其特征在于，所述第一升溫速率為0.1～5℃/分鐘，第一燒結溫度為1200℃～1400℃；所述第二升溫速率為5～10℃/分鐘，第二燒結溫度為1410～1600℃。

9.根據權利要求6所述的氧化物靶材的制備方法，其特征在于，步驟3的燒結過程進行多次重復，多次重復過程中第一燒結溫度、第二燒結溫度、第一升溫速率、第二升溫速率以及第一降溫速率可以相同，也可以不同。

10.根據權利要求6所述的氧化物靶材的制備方法，其特征在于，第一燒結溫度下每次保溫時間為10～250小時；第二燒結溫度每次保溫時間為10～60分鐘。