[發明專利]研磨機研磨液流量控制裝置及方法

有效

• 申請號: 202211512692.9
• 申請日: 2022-11-30
• 公開（公告）號: CN115533734B
• 公開（公告）日: 2023-02-14
• 發明（設計）人: 徐建民;陳建松;郝建軍;丁潔;李永斌;狄建興;楊鐵生;王亮;崔立志;宋學忠
• 申請（專利權）人: 唐山國芯晶源電子有限公司
• 主分類號: B24B37/005
• 分類號: B24B37/005;B24B37/34;B24B49/00;B24B49/16;B24B57/02
• 代理公司: 河北國維致遠知識產權代理有限公司 13137
• 代理人: 秦敏華

本申請適用于晶片研磨技術領域，提供了研磨機研磨液流量控制裝置及方法，該裝置包括依次連接的流量傳感器、流量控制儀、伺服電機和調節閥，還包括與流量控制儀連接的壓力傳感器、與伺服電機連接的攪拌器；流量傳感器，用于獲取研磨液出口處的實際流量值；壓力傳感器，用于獲取磨液出口處的研磨液對研磨液管道內壁的壓力；流量控制儀，用于基于第一閾值、實際流量值和研磨液對研磨液管道內壁的壓力，啟動伺服電機；伺服電機，用于驅動閥桿或者攪拌器進行轉動；調節閥，設置于研磨液管道入口，用于調節研磨液入口處的研磨液流量；攪拌器，設置于存放研磨液的裝置中，用于攪拌研磨液。本申請能夠保證研磨液流量保持恒定。

技術領域

本申請屬于晶片研磨技術領域，尤其涉及研磨機研磨液流量控制裝置及方法。

背景技術

光電技術是推動國民經濟和社會信息化技術的高新企業技術，也是改造傳統產業的技術基礎。隨著石英諧振器和振蕩器的快速發展，給石英晶片表面研磨水平提出更高要求。

石英晶片在研磨機研磨時，研磨液作為研磨四要素之一，對研磨晶片表面水平度及平整度起著至關重要的作用，在研磨過程中研磨液的損耗，研磨液流速會隨之發生變化，控制研磨液流速，保證研磨液流量保持恒定，既節省研磨液，又能提高研磨一致性。

現有方法中研磨液流速靠研磨液管上開關控制流量大小，但隨著研磨過程中研磨液的損耗，研磨流速會隨之降低，研磨流速不穩定。

發明內容

本申請實施例提供了研磨機研磨液流量控制裝置及方法，以保證研磨液流量保持恒定。

本申請是通過如下技術方案實現的：

第一方面，本申請實施例提供了一種研磨機研磨液流量控制裝置，包括：依次連接的流量傳感器、流量控制儀、伺服電機和調節閥，還包括與流量控制儀連接的壓力傳感器、與伺服電機連接的攪拌器。

流量傳感器，設置于研磨液管道出口，用于獲取研磨液出口處的實際流量值。

壓力傳感器，設置于研磨液管道出口處的內壁，用于獲取磨液出口處的研磨液對研磨液管道內壁的壓力。

流量控制儀，用于基于第一閾值、實際流量值和研磨液對研磨液管道內壁的壓力，啟動伺服電機，第一閾值表征研磨所需的研磨液的流量。

伺服電機，用于驅動調節閥內的閥桿或者攪拌器進行轉動。

調節閥，設置于研磨液管道入口，用于調節研磨液入口處的研磨液流量。

攪拌器，設置于存放研磨液的裝置中，用于攪拌研磨液，使研磨液中的研磨砂均勻分布。

結合第一方面，在一些可能的實現方式中，閥桿的轉動角度的范圍為0°至90°。

結合第一方面，在一些可能的實現方式中，當實際流量值大于第一閾值，研磨液對研磨液管道內壁的壓力增大時，啟動伺服電機，驅動閥桿轉動，使閥桿向著與研磨液管道垂直的方向轉動，調節閥開度減小。

結合第一方面，在一些可能的實現方式中，當實際流量值小于第一閾值，研磨液對研磨液管道內壁的壓力減小時，啟動伺服電機，驅動閥桿轉動，使閥桿向著與研磨液管道平行的方向轉動，調節閥開度增大。

結合第一方面，在一些可能的實現方式中，當實際流量值小于第一閾值，研磨液對研磨液管道內壁的壓力減小時，啟動伺服電機，驅動攪拌器，當實際流量值等于第一閾值，研磨液對研磨液管道內壁壓力無變化時，關閉伺服電機。

結合第一方面，在一些可能的實現方式中，當實際流量值等于第一閾值，研磨液對研磨液管道內壁的壓力無變化時，伺服電機不啟動，閥桿不轉動，調節閥開度不變。

結合第一方面，在一些可能的實現方式中，流量控制儀為PID智能調節儀；調節閥為電動比例調節閥。