[發明專利]一種銀鋁漿搭接區域對PERC電池開壓影響的測試方法和裝置在審
| 申請號： | 202211470486.6 | 申請日： | 2022-11-23 |
| 公開（公告）號： | CN115763290A | 公開（公告）日： | 2023-03-07 |
| 發明（設計）人： | 黃良輝;陳志明;劉家敬;黃耀浩 | 申請（專利權）人： | 廣東南海啟明光大科技有限公司;佛山市瑞納新材科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/66 | 分類號： | H01L21/66;G01R27/02;H01L31/0224 |
| 代理公司： | 上海微策知識產權代理事務所(普通合伙) 31333 | 代理人： | 肖烜 |
| 地址： | 528000 廣東省佛山市*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 銀鋁漿搭接 區域 perc 電池 影響 測試 方法 裝置 | ||
1.一種銀鋁漿搭接區域對PERC電池開壓影響的測試方法，其特征在于，包括：將銀漿在無激光刻槽的PERC測試硅片進行印刷，烘干后，用同一塊圖形的網版印刷鋁漿，再次烘干后，對印刷好的硅片進行燒結，然后對燒結后的電極用電阻測試儀進行測試，記錄電阻儀示數即可。
2.根據權利要求1所述銀鋁漿搭接區域對PERC電池開壓影響的測試方法，其特征在于，銀漿和鋁漿印刷的圖案為軸對稱結構，包括鏡像的第一結構和第二結構。
3.根據權利要求2所述銀鋁漿搭接區域對PERC電池開壓影響的測試方法，其特征在于，所述第一結構和第二結構為水平T型結構。
4.根據權利要求3所述銀鋁漿搭接區域對PERC電池開壓影響的測試方法，其特征在于，第一結構和第二結構的間距為3-5mm。
5.根據權利要求4所述銀鋁漿搭接區域對PERC電池開壓影響的測試方法，其特征在于，第一結構和第二結構的長度為28-32mm，寬度為6-8mm；水平T型結構角尾長度為18-22mm，寬度為6-8mm。
6.根據權利要求2-5任一項所述銀鋁漿搭接區域對PERC電池開壓影響的測試方法，其特征在于，燒結的條件為750-790℃。
7.一種銀鋁漿搭接區域對PERC電池開壓影響的測試裝置，其特征在于，包括：無激光刻槽的PERC測試硅片，以及印刷在PERC測試硅片表面的銀鋁漿模塊。
8.根據權利要求7所述銀鋁漿搭接區域對PERC電池開壓影響的測試裝置，其特征在于，所述銀鋁漿模塊為上下重疊的銀漿模塊和鋁漿模塊，其中，銀漿模塊與PERC測試硅片接觸。
9.根據權利要求8所述銀鋁漿搭接區域對PERC電池開壓影響的測試裝置，其特征在于，銀漿模塊和鋁漿模塊為軸對稱結構，包括鏡像的第一結構和第二結構。
10.根據權利要求9所述銀鋁漿搭接區域對PERC電池開壓影響的測試裝置，其特征在于，第一結構和第二結構的間距為3-5mm。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
