[發明專利]潔凈室廢氣送風系統及其送風方法

在審

• 申請號: 202211436350.3
• 申請日: 2022-11-16
• 公開（公告）號: CN115727433A
• 公開（公告）日: 2023-03-03
• 發明（設計）人: 陳輝
• 申請（專利權）人: 廣州沃泰芯電子技術有限公司
• 主分類號: F24F3/167
• 分類號: F24F3/167;F24F7/003;F24F7/06;F24F8/108;F24F11/64;F24F11/80;F24F11/88;F24F12/00;F24F13/30;F24F110/10
• 代理公司: 廣州專才專利代理事務所(普通合伙) 44679
• 代理人: 楊惠邦

1.潔凈室廢氣送風系統，其特征在于：包括潔凈室排氣管路、設置在潔凈室排氣管路的排氣風機、送風通道、設置在送風通道的第一風閥、與潔凈室排氣管路連通的尾氣處理通道、設置在尾氣處理通道的第二風閥、待調溫室、換熱圍壁件、以及廢氣外排管道；所述換熱圍壁件設置在待調溫室內，且換熱圍壁件與待調溫室的內壁共同圍成換熱風腔，所述送風通道的其中一端與潔凈室排氣管路連通，另一端與換熱風腔連通；所述換熱圍壁件上設置有與換熱風腔連通的進風口，所述進風口處安裝有進風風機；所述換熱圍壁件上還設置有與進風口相對的出風口，所述出風口與廢氣外排管道連通。

2.如權利要求1所述的潔凈室廢氣送風系統，其特征在于：所述換熱圍壁件的頂端與待調溫室的頂壁密封配合，且換熱圍壁件的底端與待調溫室的底壁密封配合。

3.如權利要求1所述的潔凈室廢氣送風系統，其特征在于：所述出風口處安裝有對流風機。

4.如權利要求3所述的潔凈室廢氣送風系統，其特征在于：所述進風風機位于待調溫室的其中一端，所述對流風機位于待調溫室的另一端。

5.如權利要求1所述的潔凈室廢氣送風系統，其特征在于：所述換熱圍壁件為換熱鋁合金板，該換熱鋁合金板包括圍設在待調溫室各側壁一側的主板體，所述主板體的兩端均設置有與待調溫室側壁連接的連接板體。

6.如權利要求1所述的潔凈室廢氣送風系統，其特征在于：所述換熱圍壁件與待調溫室的內壁還圍成有與換熱風腔相隔離的出風腔，所述出風口通過出風腔與廢氣外排管道連通。

7.如權利要求1所述的潔凈室廢氣送風系統，其特征在于：所述換熱圍壁件通過固定件與待調溫室的側壁固定連接。

8.潔凈室廢氣送風系統的送風方法，其特征在于：該潔凈室廢氣送風系統包括潔凈室排氣管路、設置在潔凈室排氣管路的排氣風機、送風通道、設置在送風通道的第一風閥、與潔凈室排氣管路連通的尾氣處理通道、以及設置在尾氣處理通道的第二風閥、待調溫室、換熱圍壁件、以及廢氣外排管道；所述換熱圍壁件設置在待調溫室內，且換熱圍壁件與待調溫室的內壁共同圍成換熱風腔，所述送風通道的其中一端與潔凈室排氣管路連通，另一端與換熱風腔連通；所述換熱圍壁件上設置有與換熱風腔連通的進風口，所述進風口處安裝有進風風機；所述換熱圍壁件上還設置有與進風口相對的出風口，所述出風口與廢氣外排管道連通；

該潔凈室廢氣送風系統的送風方法包括以下步驟：

若待調溫室室內溫度處于第一預定范圍值內時，控制排氣風機運轉，并控制第一風閥開啟，使得從潔凈室排氣管路流向送風通道的潔凈室廢氣進入換熱風腔內通過換熱圍壁件與待調溫室內的空氣換熱；

若待調溫室室內溫度處于第二預定范圍值內時，控制排氣風機和進風風機運轉，并控制第一風閥開啟，使得從潔凈室排氣管路流向送風通道的潔凈室廢氣進入換熱風腔內通過換熱圍壁件與待調溫室內的空氣換熱，并在進風風機的抽吸作用下通過進風口進入待調溫室內，再經出風口從廢氣外排管道排出。

9.如權利要求8所述的潔凈室廢氣送風系統的送風方法，其特征在于：所述出風口處安裝有對流風機，若待調溫室室內溫度處于第二預定范圍值內時，控制排氣風機、進風風機和對流風機運轉，并控制第一風閥開啟，使得從潔凈室排氣管路流向送風通道的潔凈室廢氣進入換熱風腔內通過換熱圍壁件與待調溫室內的空氣換熱，并在進風風機的抽吸作用下通過進風口進入待調溫室內，進入待調溫室內的廢氣在對流風機的作用下形成對流，再經出風口從廢氣外排管道排出。

10.如權利要求8所述的潔凈室廢氣送風系統的送風方法，其特征在于：所述待調溫室室內溫度處于第一預定范圍值內為18℃待調溫室室內溫度22℃，或者25℃待調溫室室內溫度27℃；所述待調溫室室內溫度處于第二預定范圍值內為待調溫室室內溫度≥27℃，或者待調溫室室內溫度≤18℃。