[發(fā)明專利]一種生產(chǎn)單晶硅片的送料分離裝置及方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202211424664.1
• 申請(qǐng)日: 2022-11-15
• 公開（公告）號(hào): CN116190288A
• 公開（公告）日: 2023-05-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王藝澄
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇美科太陽能科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 32200
• 代理人: 徐澍

1.一種生產(chǎn)單晶硅片的送料分離裝置，包括傳送臺(tái)（1）以及傳送臺(tái)（1）上表面中間固定有電動(dòng)滑軌（2），傳送臺(tái)（1）和電動(dòng)滑軌（2）均是封閉的環(huán)形，其特征是：電動(dòng)滑軌（2）上滑動(dòng)連接有載料盤（4），載料盤（4）中能盛放單晶硅片，分離箱（5）橫跨在傳送臺(tái)（1）和電動(dòng)滑軌（2）上方，分離箱（5）頂部上方固定有垂直氣缸（9），垂直氣缸（9）的輸出端向下伸至分離箱（5）內(nèi)部固定連接一塊水平的吸料板（10），吸料板（10）上固定設(shè)置與外部氣路相連的多個(gè)吸嘴（11），分離箱（5）側(cè)面固定裝有水平氣缸（14），水平氣缸（14）輸出端延伸至分離箱（5）內(nèi)部且固定連接接料板（15），接料板（15）初始位置在吸料板（10）下方一側(cè)，接料板（15）上設(shè)置多個(gè)能繞自身中心軸旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)輪（17），吸料板（10）下方一側(cè)設(shè)置出料臺(tái)（3），吸料板（10）在出料臺(tái)（3）與轉(zhuǎn)輪（17）之間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種生產(chǎn)單晶硅片的送料分離裝置，其特征是：多個(gè)吸嘴（11）呈陣列分布在吸料板（10）上，每個(gè)吸嘴（11）上均固定裝有工業(yè)氣管（12）的輸出端，所有的工業(yè)氣管（12）的輸入端都匯總后連接連通管（13）的底端，連通管（13）的頂端向上穿過吸料板（10）且穿過分離箱（5）頂面后固定連接外部氣路。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種生產(chǎn)單晶硅片的送料分離裝置，其特征是：多個(gè)轉(zhuǎn)輪（17）的中心轉(zhuǎn)軸與水平氣缸（14）的中心軸相平行，接料板（15）在靠近分離箱（5）的一側(cè)固定裝有電動(dòng)馬達(dá)，電動(dòng)馬達(dá)的輸出軸固定連接轉(zhuǎn)輪（17）。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種生產(chǎn)單晶硅片的送料分離裝置，其特征是：載料盤（4）底部對(duì)稱開設(shè)有滑槽（6），滑槽（6）與電動(dòng)滑軌（2）相適配，載料盤（4）的盤面均勻設(shè)置有多個(gè)垂直的支撐柱（7），每個(gè)支撐柱（7）頂端和底端位置都固定有一個(gè)橡膠墊片（8），支撐柱（7）的中間段外套接有彈簧，彈簧支撐在支撐柱（7）的頂端和底端之間的橡膠墊片（8）間。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種生產(chǎn)單晶硅片的送料分離裝置，其特征是：載料盤（4）一側(cè)連接光纖感應(yīng)器，以監(jiān)測載料盤（4）中是否有單晶硅片。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種生產(chǎn)單晶硅片的送料分離裝置，其特征是：連通管（13）上裝氣壓傳感器以檢測連通管（13）上的氣壓。

7.一種如權(quán)利要求1所述的生產(chǎn)單晶硅片的送料分離裝置的送料分離方法，其特征是依次包括：

步驟1）：啟動(dòng)電動(dòng)滑軌（2）和出料臺(tái)（3）；電動(dòng)滑軌（2）帶動(dòng)載料盤（4）運(yùn)動(dòng)到吸料板（10）和吸嘴（11）正下方時(shí)停止，垂直氣缸（9）帶動(dòng)吸料板（10）和吸嘴（11）向下運(yùn)動(dòng)至吸嘴（11）與載料盤（4）中最上面一層的單晶硅片貼合，吸嘴（11）吸附單晶硅片；

步驟2）：垂直氣缸（9）向上復(fù)位，水平氣缸（14）帶動(dòng)接料板（15）水平運(yùn)動(dòng)到吸料板（10）下方，吸嘴（11）釋放單晶硅片，單晶硅片落在接料板（15）上，轉(zhuǎn)輪（17）轉(zhuǎn)動(dòng)，將單晶硅片運(yùn)輸至出料臺(tái)（3）上，同時(shí)水平氣缸（14）復(fù)位，接料板（15）回到初始位置；

步驟3）：重啟電動(dòng)滑軌（2），載料盤（4）繼續(xù)運(yùn)行，如此循環(huán)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的送料分離方法，其特征是：出料臺(tái)（3）與轉(zhuǎn)輪（17）之間的分離箱（5）上設(shè)有風(fēng)扇（16），在轉(zhuǎn)輪（17）將單晶硅片運(yùn)輸至出料臺(tái)（3）的過程中，風(fēng)扇（16）工作。