[發明專利]一種能夠低溫變溫測試的測試探針臺及其操作方法

在審

• 申請號: 202211419085.8
• 申請日: 2022-11-14
• 公開（公告）號: CN115684889A
• 公開（公告）日: 2023-02-03
• 發明（設計）人: 方經軍
• 申請（專利權）人: 蘇州斯丹德電子科技有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R1/067
• 代理公司: 深圳市賓亞知識產權代理有限公司 44459
• 代理人: 張廣富

1.一種能夠低溫變溫測試的測試探針臺，其特征在于，包括水平穩定平臺(1)，所述水平穩定平臺(1)的頂部固定連接有保護罩組件(2)，所述保護罩組件(2)包括與水平穩定平臺(1)頂部固定連接的保護環(21)，所述保護環(21)的頂部開設有連接槽(22)，所述連接槽(22)的內表面活動連接有密封圈(23)，所述密封圈(23)的頂部固定連接有隔熱保護罩(24)，所述隔熱保護罩(24)兩側的中間均固定連接有同步板(25)，所述同步板(25)的底部固定連接有銜接折板(26)，所述水平穩定平臺(1)的頂部固定連接有放置組件(3)，所述水平穩定平臺(1)底部連通有冷氣輸入組件(4)，所述保護罩組件(2)內壁的頂部固定連接有移動組件(5)，所述水平穩定平臺(1)底部的兩側均固定連接有支撐底座(6)。

2.根據權利要求1所述的能夠低溫變溫測試的測試探針臺，其特征在于，所述水平穩定平臺(1)兩側的頂部均固定連接有側面托板(27)，所述側面托板(27)的頂部通過旋轉軸轉動連接有豎直軸(28)。

3.根據權利要求2所述的能夠低溫變溫測試的測試探針臺，其特征在于，所述豎直軸(28)的表面固定連接有下壓折板(29)，所述下壓折板(29)表面的一側固定連接有操作手柄(210)。

4.根據權利要求1所述的能夠低溫變溫測試的測試探針臺，其特征在于，所述放置組件(3)包括與水平穩定平臺(1)頂部中間固定連接的放置塊(31)，所述放置塊(31)頂部的中間開設有芯片放置槽(32)，所述芯片放置槽(32)內壁底部的兩側均固定連接有放置板(33)，所述芯片放置槽(32)內壁的兩側固定連接有夾持彈片(34)。

5.根據權利要求1所述的能夠低溫變溫測試的測試探針臺，其特征在于，所述冷氣輸入組件(4)包括與水平穩定平臺(1)底部連通的主體引導管(41)，所述主體引導管(41)的底部連通有單向導通管(42)，所述單向導通管(42)內壁的頂部固定連接有通過槽板(43)，所述通過槽板(43)的底部固定連接有限制引導桿(44)，所述單向導通管(42)內壁的兩側均固定連接有固定擋板(45)，所述固定擋板(45)底部的一側固定連接有密封彈簧(46)，所述密封彈簧(46)的底端固定連接有伴隨板(47)，所述伴隨板(47)的一側固定連接有活動套(48)，所述活動套(48)的內表面與限制引導桿(44)的表面活動連接，所述活動套(48)的底部固定連接有密封塊(49)，所述單向導通管(42)內壁的底部固定連接有密封隔離圈(410)，所述單向導通管(42)的底部連通有銜接螺紋管(411)。

6.根據權利要求1所述的能夠低溫變溫測試的測試探針臺，其特征在于，所述移動組件(5)包括與保護罩組件(2)內壁頂部中間固定連接的軌道板(51)，所述軌道板(51)的表面開設有軌道槽(52)，所述軌道板(51)的表面活動連接有移動套(53)，所述移動套(53)內壁的兩側均固定連接有動力輪(54)。

7.根據權利要求1所述的能夠低溫變溫測試的測試探針臺，其特征在于，所述移動套(53)底部固定連接有伸縮桿(55)，所述伸縮桿(55)的底端固定連接有探針(56)。

8.一種能夠低溫變溫測試的測試探針臺的操作方法，其特征在于，具體包括如下步驟：

步驟1：將銜接螺紋管(411)與外界液氮連通，將芯片放置在放置塊(31)中芯片放置槽(32)表面，芯片表面兩側被夾持彈片(34)穩定夾持；

步驟2：開啟銜接螺紋管(411)向單向導通管(42)中輸入降溫液體液氮，液氮推動密封塊(49)移動，密封塊(49)移動同時帶動伴隨板(47)移動，伴隨板(47)擠壓固定擋板(45)一側的密封彈簧(46)，活動套(48)在限制引導桿(44)表面滑動，液氮直接流向通過槽板(43)，最終通過主體引導管(41)最終進入隔熱保護罩(24)的內壁；

步驟3：開啟移動套(53)內壁的動力輪(54)，動力輪(54)在軌道槽(52)中滾動，進而帶動伸縮桿(55)移動至合適位置，伸長伸縮桿(55)帶動探針(56)對芯片進行檢測，；

步驟4：手持操作手柄(210)，圍繞側面托板(27)轉動豎直軸(28)，將下壓折板(29)與銜接折板(26)分離，上拉同步板(25)，將密封圈(23)與連接槽(22)分離，將隔熱保護罩(24)取下，對芯片放置槽(32)中芯片拿取放置，然后將隔熱保護罩(24)復原，繼續工作，當裝置工作完全結束，將裝置復原。