[發明專利]一種工藝質量分析方法、裝置及可讀存儲介質

在審

• 申請號: 202211345859.7
• 申請日: 2022-10-31
• 公開（公告）號: CN115689115A
• 公開（公告）日: 2023-02-03
• 發明（設計）人: 楊帥;侯雨;銀波;宋玲玲;朱曉明;甘新業;高靜;候春霞;王新月
• 申請（專利權）人: 新特能源股份有限公司;新疆新特晶體硅高科技有限公司
• 主分類號: G06Q10/063
• 分類號: G06Q10/063;G06Q50/04
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 金鮮英

本發明提供了一種工藝質量分析方法、裝置及可讀存儲介質，涉及工藝質量管控技術領域。所述工藝質量分析方法包括：獲取多晶硅生產工序中的至少一個工藝參數的運行數據；對所述運行數據進行篩選，獲得篩選后的運行數據；根據篩選后的運行數據，對所述多晶硅生產工序進行工藝質量分析，得到工藝質量分析結果；其中，所述工藝質量分析為以下至少一項：過程能力分析；方差分析；試驗設計分析；可靠性分析；多變量分析。本發明的方案能夠對多晶硅生產工序中的工藝參數進行分析，從而為多晶硅的質量提升奠定基礎。

技術領域

本發明涉及工藝質量管控技術領域，尤其是涉及一種工藝質量分析方法、裝置及可讀存儲介質。

背景技術

在多晶硅產品的生產過程中，工藝參數的質量穩定性對于多晶硅產品質量至關重要，在目前的控制方式中，對于工藝參數的質量分析大多采用在DCS(Distributed ControlSystem，分布式控制系統)或者PLC(Programmable Logic Controller，可編程邏輯控制器)系統中進行歷史趨勢分析方式，或者采用人為統計分析方式。其中，歷史趨勢分析方式，雖然整體較為直觀，但實質是為定性型的判斷，當趨勢較為平穩時，定性型的分析精度已不足以支撐生產要求；人為統計分析方式，存在著分析方式不統一，數據處理工作量大，分析周期覆蓋不全，效率低等諸多問題。因此上述兩類分析方式的弊端日益突出，急需一種高效的工藝質量分析方式。

發明內容

本發明實施例的目的在于提供一種工藝質量分析方法、裝置及可讀存儲介質，從而解決現有技術中多晶硅生產過程的工藝參數分析效率低的問題。

為了實現上述目的，本發明提供了一種工藝質量分析方法，包括：

獲取多晶硅生產工序中的至少一個工藝參數的運行數據；

對所述運行數據進行篩選，獲得篩選后的運行數據；

根據篩選后的運行數據，對所述多晶硅生產工序進行工藝質量分析，得到工藝質量分析結果；

其中，所述工藝質量分析為以下至少一項：

過程能力分析；

方差分析；

試驗設計分析；

可靠性分析；

多變量分析。

可選的，所述的工藝質量分析方法，其中，所述方法還包括：

在所述工藝質量分析結果指示控制達標的情況下，確定所述工藝參數的運行范圍。

可選的，所述的工藝質量分析方法，其中，所述對所述運行數據進行篩選，獲得篩選后的運行數據，包括：

對于每一所述工藝參數，按照預設時段，將所述運行數據劃分為至少一個數據組；

對每一所述數據組進行統計分析，獲取質量控制信息；

根據所述質量控制信息，判斷所述數據組中是否存在異常運行數據；

在所述數據組中存在所述異常運行數據的情況下，根據所述異常運行數據，對所述運行數據進行篩選，獲得篩選后的運行數據。

可選的，所述的工藝質量分析方法，其中，所述根據所述質量控制信息，判斷所述數據組中是否存在異常運行數據，包括：

根據所述質量控制信息，生成控制圖；其中，所述控制圖包括移動極差控制圖和/或I-控制圖；

采用判異原則對所述控制圖上的數據點進行分析，判斷所述數據組中是否存在異常運行數據。

可選的，所述的工藝質量分析方法，其中，所述判異原則為所述控制圖上的數據點滿足第一條件的情況下，確定所述數據組中存在所述異常運行數據；