[發(fā)明專(zhuān)利]一種金剛線切割槽輪的延長(zhǎng)使用壽命的方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202211264952.5
• 申請(qǐng)日: 2022-10-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN115753465A
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-03-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張凱;姚科新;黃春峰;曹錦偉;李仕權(quán);王彥君;孫晨光;韓少鋒
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體材料有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01N3/56
• 分類(lèi)號(hào): G01N3/56;B28D5/04;G01M13/00
• 代理公司: 蘇州高專(zhuān)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32474
• 代理人: 冷泠

本發(fā)明公開(kāi)了一種金剛線切割槽輪的延長(zhǎng)使用壽命的方法，其實(shí)驗(yàn)方法包括以下步驟：S1、首先將準(zhǔn)備好相應(yīng)的金剛線切割機(jī)，將關(guān)鍵輔料槽輪進(jìn)行實(shí)時(shí)安裝到切割機(jī)相應(yīng)位置處，并且通過(guò)調(diào)整槽輪直徑調(diào)整切割線的張力，增加槽輪尾部的直徑，使槽輪尾部的直徑大于槽輪中部的直徑，提高槽輪尾部的切割能力，同時(shí)使得金剛線切割機(jī)整體線網(wǎng)平衡力更好；S2、然后依據(jù)80金剛線經(jīng)驗(yàn)，將線徑替換為50線線徑時(shí)，同步縮放槽輪的槽深。本發(fā)明成功地降低了50金剛線切割半導(dǎo)體硅片的制造成本，避免了因頻繁更換槽輪造成的人力、設(shè)備配件的浪費(fèi)，為50金剛線切割半導(dǎo)體硅片的推進(jìn)提供了成本優(yōu)勢(shì)，推動(dòng)了國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體金剛線切割的細(xì)線化進(jìn)度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種金剛線切割槽輪的延長(zhǎng)使用壽命的方法。

背景技術(shù)

由于電子產(chǎn)品快速發(fā)展和廣泛應(yīng)用，對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)硅片的需求量也在不斷增大，為了降低硅片的生產(chǎn)成本，針對(duì)金剛線切割機(jī)的關(guān)鍵輔料-槽輪的要求也在不斷提高，早期使用50金剛線切割時(shí)，槽輪壽命達(dá)到100H后產(chǎn)品參數(shù)就開(kāi)始出現(xiàn)惡化趨勢(shì)，120H時(shí)產(chǎn)品參數(shù)已不能滿足生產(chǎn)需求，需要更換新槽輪，而同樣的80金剛線槽輪壽命普遍在350H小時(shí)，砂漿線切割使用的槽輪壽命更是在800H，所以在大范圍推廣50金剛線時(shí)，槽輪壽命成為了生產(chǎn)很大的一個(gè)制約條件，頻繁更換線切槽輪對(duì)人員，設(shè)備工時(shí)都是一種浪費(fèi)，經(jīng)常拆裝設(shè)備軸箱也會(huì)對(duì)設(shè)備產(chǎn)生一定程度的損壞，在此基礎(chǔ)上，如何提高50金剛線的槽輪壽命成為了50金剛線切割半導(dǎo)體量產(chǎn)的重要瓶頸。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種金剛線切割槽輪的延長(zhǎng)使用壽命的方法，以解決上述背景技術(shù)中提出的在大范圍推廣50金剛線時(shí)，槽輪壽命成為了生產(chǎn)很大的一個(gè)制約條件，頻繁更換線切槽輪對(duì)人員，設(shè)備工時(shí)都是一種浪費(fèi)，經(jīng)常拆裝設(shè)備軸箱也會(huì)對(duì)設(shè)備產(chǎn)生一定程度的損壞問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種金剛線切割槽輪的延長(zhǎng)使用壽命的方法，其實(shí)驗(yàn)方法包括以下步驟：

S1、首先將準(zhǔn)備好相應(yīng)的金剛線切割機(jī)，將關(guān)鍵輔料槽輪進(jìn)行實(shí)時(shí)安裝到切割機(jī)相應(yīng)位置處，并且通過(guò)調(diào)整槽輪直徑調(diào)整切割線的張力，增加槽輪尾部的直徑，使槽輪尾部的直徑大于槽輪中部的直徑，提高槽輪尾部的切割能力，同時(shí)使得金剛線切割機(jī)整體線網(wǎng)平衡力更好。

S2、然后依據(jù)80金剛線經(jīng)驗(yàn)，將線徑替換為50線線徑時(shí)，同步縮放槽輪的槽深，借助80線槽輪使用經(jīng)驗(yàn)，槽輪首刀切割參數(shù)良好，但繼續(xù)加工過(guò)程中發(fā)現(xiàn)存在壽命問(wèn)題，槽輪壽命達(dá)到100H后參數(shù)開(kāi)始惡化，120H后更是無(wú)法使用，后經(jīng)顯微鏡檢測(cè)，槽內(nèi)膠皮存在嚴(yán)重偏磨問(wèn)題。

S3、最后引入了V槽槽輪，V槽+R角槽輪等不同型號(hào)槽輪，并依次進(jìn)行試切驗(yàn)證，最終確定以0.09開(kāi)口寬度+無(wú)R角方案效果最佳，槽輪壽命達(dá)到300H參數(shù)依舊在可控范圍內(nèi)，持續(xù)加工到320H才出現(xiàn)惡化趨勢(shì)。同步將實(shí)驗(yàn)成果應(yīng)用于80金剛線槽輪上，也取得了一定的成果，使80金剛線的切割參數(shù)更為穩(wěn)定。

優(yōu)選的，所述金剛線切割槽輪直徑為236-245mm，所述槽輪間距為480mm，且主輥跳動(dòng)精度為±10μm。

優(yōu)選的，所述槽輪端跳精度為±20um，且槽輪表面膠皮狀態(tài)需為無(wú)氣泡和無(wú)破損狀態(tài)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：

本發(fā)明通過(guò)50金剛線槽輪壽命的提升，成功地降低了50金剛線切割半導(dǎo)體硅片的制造成本，避免了因頻繁更換槽輪造成的人力、設(shè)備配件的浪費(fèi)，為50金剛線切割半導(dǎo)體硅片的推進(jìn)提供了成本優(yōu)勢(shì)，推動(dòng)了國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體金剛線切割的細(xì)線化進(jìn)度，提高了單晶的單位公斤出片數(shù)，大幅降低了制造成本，提高了半導(dǎo)體硅片的國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明的槽輪前、中、后期參數(shù)對(duì)比線形圖；

圖2為本發(fā)明的槽輪前、中、后期參數(shù)對(duì)比表；

圖3為本發(fā)明的80金剛線槽型和50金剛線槽型示意圖。