[發(fā)明專利]一種金剛線切割槽輪的延長使用壽命的方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202211264952.5 | 申請日： | 2022-10-17 |
| 公開（公告）號： | CN115753465A | 公開（公告）日： | 2023-03-07 |
| 發(fā)明（設計）人： | 張凱;姚科新;黃春峰;曹錦偉;李仕權(quán);王彥君;孫晨光;韓少鋒 | 申請（專利權(quán)）人： | 中環(huán)領先半導體材料有限公司 |
| 主分類號： | G01N3/56 | 分類號： | G01N3/56;B28D5/04;G01M13/00 |
| 代理公司： | 蘇州高專知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(特殊普通合伙) 32474 | 代理人： | 冷泠 |
| 地址： | 214000 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 金剛 切割 延長 使用壽命 方法 | ||
1.一種金剛線切割槽輪的延長使用壽命的方法，其特征在于：其實驗方法包括以下步驟：
S1、首先將準備好相應的金剛線切割機，將關(guān)鍵輔料槽輪進行實時安裝到切割機相應位置處，并且通過調(diào)整槽輪直徑調(diào)整切割線的張力，增加槽輪尾部的直徑，使槽輪尾部的直徑大于槽輪中部的直徑，提高槽輪尾部的切割能力，同時使得金剛線切割機整體線網(wǎng)平衡力更好；
S2、然后依據(jù)80金剛線經(jīng)驗，將線徑替換為50線線徑時，同步縮放槽輪的槽深，借助80線槽輪使用經(jīng)驗，槽輪首刀切割參數(shù)良好，但繼續(xù)加工過程中發(fā)現(xiàn)存在壽命問題，槽輪壽命達到100H后參數(shù)開始惡化，120H后更是無法使用，后經(jīng)顯微鏡檢測，槽內(nèi)膠皮存在嚴重偏磨問題；
S3、最后引入了V槽槽輪，V槽+R角槽輪等不同型號槽輪，并依次進行試切驗證，最終確定以0.09開口寬度+無R角方案效果最佳，槽輪壽命達到300H參數(shù)依舊在可控范圍內(nèi)，持續(xù)加工到320H才出現(xiàn)惡化趨勢。同步將實驗成果應用于80金剛線槽輪上，也取得了一定的成果，使80金剛線的切割參數(shù)更為穩(wěn)定。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金剛線切割槽輪的延長使用壽命的方法，其特征在于：所述金剛線切割槽輪直徑為236-245mm，所述槽輪間距為480mm，且主輥跳動精度為±10μm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金剛線切割槽輪的延長使用壽命的方法，其特征在于：所述槽輪端跳精度為±20um，且槽輪表面膠皮狀態(tài)需為無氣泡和無破損狀態(tài)。
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