[發明專利]一種單晶硅棒轉運裝置及單晶硅棒裝運方法在審
| 申請號: | 202211249962.1 | 申請日: | 2022-10-12 |
| 公開(公告)號: | CN115504094A | 公開(公告)日: | 2022-12-23 |
| 發明(設計)人: | 李衛國;姚中旭 | 申請(專利權)人: | 重慶賽迪奇智人工智能科技有限公司 |
| 主分類號: | B65D55/02 | 分類號: | B65D55/02;B65D53/00;B65D81/20;B65D81/03;B65D81/07;B65D81/05;B65D25/04;B65D85/20 |
| 代理公司: | 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205 | 代理人: | 弋梅梅;臧建明 |
| 地址: | 400043 重*** | 國省代碼: | 重慶;50 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 單晶硅 轉運 裝置 裝運 方法 | ||
1.一種單晶硅棒轉運裝置,其特征在于,包括:
箱體(1),所述箱體(1)的內側壁滑動連接有放置板(5),所述箱體(1)端部開設有密封槽(3),所述密封槽(3)的內側壁相貼合有密封條(4),所述密封條(4)的端部固定連接有箱蓋(2),所述箱體(1)的內側壁設置有緩沖裝置(7),所述緩沖裝置(7)用于對橫向的撞擊力進行緩沖;
隔空組件(8),所述隔空組件(8)設置在所述箱體(1)的內側壁底部,所述隔空組件(8)用于對所述箱體(1)內部的空氣進行排出;
驅動機構(9),所述驅動機構(9)安裝在所述箱體(1)的側壁內部,所述驅動機構(9)用于提供驅動力;
釋放組件(10),所述釋放組件(10)用于在密封時對所述驅動機構(9)進行釋放,所述釋放組件(10)安裝在所述箱體(1)的側壁內部;
鎖定組件(11),所述鎖定組件(11)對所述箱蓋(2)和所述箱體(1)的連接部位進行鎖定。
2.根據權利要求1所述的一種單晶硅棒轉運裝置,其特征在于,所述緩沖裝置(7)包括緩沖彈簧(71)、緩沖板(72)和通孔(73);所述緩沖彈簧(71)的一端與所述箱體(1)的內側壁固定連接,所述緩沖彈簧(71)的另一端與所述緩沖板(72)的一側固定連接,所述緩沖板(72)的外側壁與所述箱體(1)的內側壁滑動連接,所述通孔(73)開設在所述緩沖板(72)上。
3.根據權利要求2所述的一種單晶硅棒轉運裝置,其特征在于,所述隔空組件(8)包括氣囊(81)、輸氣管(82)、進氣倉(83)、緩沖囊(84)和排氣口(85);所述氣囊(81)的外側壁與所述箱體(1)的內側壁固定連接,所述輸氣管(82)的一端與所述氣囊(81)的一側固定連接,所述輸氣管(82)的內側壁設置有單向閥,所述輸氣管(82)的另一端與所述進氣倉(83)的側壁相貼合,所述進氣倉(83)的外側壁與所述緩沖囊(84)的一端固定連接,所述排氣口(85)開設在所述緩沖囊(84)的另一端,所述進氣倉(83)與所述箱蓋(2)的內側壁固定連接。
4.根據權利要求3所述的一種單晶硅棒轉運裝置,其特征在于,所述驅動機構(9)包括驅動板(91)、螺紋桿(92)、限位桿(93)和傳動件(94);所述驅動板(91)與所述螺紋桿(92)通過螺紋相連接,所述限位桿(93)的外側壁與所述驅動板(91)滑動連接,所述傳動件(94)的一端與所述螺紋桿(92)的外側壁固定連接,所述螺紋桿(92)的端部與所述箱體(1)的側壁通過軸承相連接,所述限位桿(93)的端部與所述箱體(1)的側壁固定連接。
5.根據權利要求4所述的一種單晶硅棒轉運裝置,其特征在于,所述釋放組件(10)包括卡板(101)、復位彈簧(102)和卡塊(103);所述卡板(101)的端部與所述復位彈簧(102)的一端固定連接,所述復位彈簧(102)的另一端與所述箱體(1)的側壁固定連接,所述卡塊(103)的端部與所述卡板(101)的內側壁固定連接。
6.根據權利要求5所述的一種單晶硅棒轉運裝置,其特征在于,所述鎖定組件(11)包括套筒(111)、推桿(112)、鎖定板(113)、推板(114)和鎖定孔(115);所述套筒(111)的內側壁與所述推桿(112)的外側壁通過螺紋相連接,所述鎖定板(113)的頂部與所述推桿(112)的底部固定連接,所述鎖定板(113)的外側壁與所述鎖定孔(115)的內側壁相適配,所述鎖定孔(115)開設在所述推板(114)的頂部,所述套筒(111)與所述箱體(1)通過軸承相連接。
7.根據權利要求4所述的一種單晶硅棒轉運裝置,其特征在于,所述放置板(5)的內側壁設置有珍珠海綿(6),所述箱體(1)的頂部開設有排氣孔(12),所述排氣孔(12)的內側壁設置有單向氣閥,所述放置板(5)的外側壁與所述驅動板(91)的端部固定連接,所述放置板(5)的底部與所述氣囊(81)的頂部相貼合,所述放置板(5)的端部與所述緩沖囊(84)的另一端相貼合,所述放置板(5)的端部與所述緩沖板(72)的另一側相貼合。
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