[發(fā)明專(zhuān)利]DK爐管清洗方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202211230298.6
• 申請(qǐng)日: 2022-10-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN115707527A
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-02-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 繆燃
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B08B9/02
• 分類(lèi)號(hào): B08B9/02;B08B3/08;B08B13/00;F26B21/14
• 代理公司: 杭州融方專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) 33266
• 代理人: 沈相權(quán)

1.一種DK爐管清洗方法，其特征在于包括如下操作步驟：

第一步：DK爐管進(jìn)行酸洗，使用的酸溶液由去離子水，氫氟酸和硝酸組成；酸溶液的H2O：HF：HNO3體積比在9：3：1～200：65：12之間；

第二步：采用UPW進(jìn)行沖洗，每次沖洗10分鐘，沖洗5次，沖洗后將污水進(jìn)行排水作業(yè)；

第三步：DK爐管沖洗完成后采用N2吹干，DK爐管在N2柜中干燥吹干時(shí)間≥12小時(shí)；

第四步：DK爐管進(jìn)行酸性檢測(cè)，使用PH試紙對(duì)爐管內(nèi)測(cè)進(jìn)行酸性檢驗(yàn)，若PH值為7則洗凈完畢，若PH值不為7則另行UPW沖洗，然后DK爐管還需要取出重新在在N2柜中干燥吹干時(shí)間≥12小時(shí)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的DK爐管清洗方法，其特征在于：所述的DK爐管進(jìn)行酸溶液清洗時(shí)間為50～70分鐘。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的DK爐管清洗方法，其特征在于：所述的酸洗過(guò)程進(jìn)行一半時(shí)，需要對(duì)混合溶液進(jìn)行恒溫控制，溫度保持在45度～55度之間。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的DK爐管清洗方法，其特征在于：升溫時(shí)以2攝氏度/分鐘的速度進(jìn)行升溫，當(dāng)完成酸洗過(guò)程結(jié)束后，以3攝氏度/分鐘的速度進(jìn)行降溫至常溫。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的DK爐管清洗方法，其特征在于：當(dāng)酸溶液的溫度保持恒定后，進(jìn)行補(bǔ)充水汽。