[發明專利]雙面拋光的修布工藝在審
| 申請號： | 202211229492.2 | 申請日： | 2022-10-08 |
| 公開（公告）號： | CN115609480A | 公開（公告）日： | 2023-01-17 |
| 發明（設計）人： | 孫若力;趙家;張文軍 | 申請（專利權）人： | 杭州中欣晶圓半導體股份有限公司 |
| 主分類號： | B24B53/017 | 分類號： | B24B53/017 |
| 代理公司： | 杭州融方專利代理事務所(普通合伙) 33266 | 代理人： | 沈相權 |
| 地址： | 311201 浙江*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 雙面 拋光 工藝 | ||
1.一種雙面拋光的修布工藝，其特征在于包括如下操作步驟：
第一步：測試初始的拋光布厚N；
第二步：接著使用金剛砂輪A進行修布壓合，修布壓力為100～200DaN，接著采用修布程序進行修布；
修布程序：第一階段，砂輪轉速:上盤轉速=0.5～2:1，砂輪轉速：下盤轉速=2～10:-1(負值表示行進方向相反)；第二階段，砂輪轉速：上盤轉速=2～10:-1，砂輪轉速：下盤轉速=0.5～2:1；
第三步：測試修布后的拋光布厚M，通過N-M得出去除量；
第四步：當厚度去除量不足20～120μm，使用金剛砂輪A再次壓合修布；
第五步：當厚度去除量達到20～120μm，改用砂輪B壓合修布，修布去除量達到10-30μm后修布完成。
2.根據權利要求1所述的雙面拋光的修布工藝，其特征在于：金剛砂輪A固定金剛砂的方式可以是電鍍或燒結，金剛砂的目數可以是60～200目，枚數為3或4枚；金剛砂輪B固定金剛砂的方式可以是電鍍或燒結，金剛砂的目數可以是100～200目，枚數為3或4枚。
3.根據權利要求2所述的雙面拋光的修布工藝，其特征在于：當金剛砂輪A、金剛砂輪B數量為3枚時，金剛砂輪正反兩面有金剛砂；當金剛砂輪A、金剛砂輪B數量為4枚時，金剛砂輪單面或雙面有金剛砂。
4.根據權利要求1所述的雙面拋光的修布工藝，其特征在于：當厚度去除量不足40～90μm時，砂輪A再次修布采用優選程序；優選程序：第一階段，砂輪轉速：上盤轉速=2～10:-1，砂輪轉速：下盤轉速=4～8:1；第二階段，砂輪轉速：上盤轉速=2～8:1，砂輪轉速：下盤轉速=2～10:-1。
5.根據權利要求4所述的雙面拋光的修布工藝，其特征在于：當金剛砂輪A、金剛砂輪B進行修布時，上盤的管道中流出水或加工時的拋光液，流量為4～12L/min，溫度為16～30℃。
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