[發明專利]半導體動態生產周期數據收集方法和裝置

在審

• 申請號: 202211197960.2
• 申請日: 2022-09-29
• 公開（公告）號: CN115481982A
• 公開（公告）日: 2022-12-16
• 發明（設計）人: 陳廣;許偉;周菁;鄭小平;徐秋晨;錢春霞;陸曉琴
• 申請（專利權）人: 上海華力集成電路制造有限公司
• 主分類號: G06Q10/10
• 分類號: G06Q10/10;G06Q50/04
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 郭四華

本發明公開了一種半導體動態生產周期數據收集方法，包括：步驟一、獲取各已作業工件在各工序上作業的歷史出貨記錄。步驟二、進行生產周期計算，包括：步驟21、計算相同產品在各相同工藝階段的相同工藝設備群中的作業時間、等待時間和停滯時間的平均值并相加形成第一生產周期。步驟22、變換產品、工藝平臺或工藝階段計算相同的工藝設備群的作業時間、等待時間和停滯時間的平均值并相加形成輔助生產周期。步驟三、按照優先填充原則進行生產周期融合得到未作業工件在各工序上的生產周期預測值。本發明還公開了一種半導體動態生產周期數據收集裝置。本發明能進行多維度數據融合，能有效保證在任何情況下，工件在各道工序上的生產周期都能近似計算。

技術領域

本發明涉及半導體集成電路制造領域，特別是涉及一種半導體動態生產周期數據收集方法。本發明還涉及一種半導體動態生產周期數據收集裝置。

背景技術

流水作業(flow-shop)生產線通常是根據產品預先設定作業流程(productflow)，作業流程由多個按順序排列的工序(step)組成，工件進入生產線后，按照定好的產品作業流程逐個步驟進行加工，直至完成所有工序的加工。

通常，大型半導體制造企業因規模大、訂單單一、量產穩定，使得工件在每道工序上的生產周期可做到一次收集、多次復用。但是對于平臺多、量產不穩定的半導體制造企業，這種簡單收集生產周期的辦法存在不奏效問題：

不同時刻，同種工件在同道工序上的生產周期具有不確定性，單一復用只會造成生產管控失敗；

很難保證一定時間范圍內，工件在各道工序上都存在過貨記錄，導致工件在某道工序上的生產周期有缺失的可能。

表一

Step	CT(t1)	CT(t2)	累計CT(t1)
1	0.5	1.2	0.5
2	0.8	0.5	1.3
3	0.4	0.4	1.7
4	0.8		2.5
5		0.7	2.5
6	0.5	0.5	3.0