[發明專利]一種六自由度高精度宏微并聯調整平臺

在審

• 申請號: 202211098611.5
• 申請日: 2022-09-07
• 公開（公告）號: CN115574228A
• 公開（公告）日: 2023-01-06
• 發明（設計）人: 徐振邦;于陽;韓哈斯敖其爾;王學問;張煜
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: F16M11/12
• 分類號: F16M11/12
• 代理公司: 長春眾邦菁華知識產權代理有限公司 22214
• 代理人: 王婷婷

1.一種六自由度高精度宏微并聯調整平臺，包括：

宏動平臺A，其具有宏動動平臺(2)和平行設置在所述宏動動平臺(2)下方的宏動定平臺(4)、以及連接所述宏動動平臺(2)和所述宏動定平臺(4)之間的六個宏動驅動支腿(5)，其特征在于；還包括

微動平臺B，其設置在所述宏動平臺A上部；

所述微動平臺B具有平行設置在所述宏動動平臺(2)上方的微動動平臺(1)；

其中，所述宏動動平臺(2)下部形成有與所述宏動動平臺(2)平行的承載平臺(16)，所述承載平臺(16)和所述微動動平臺(1)之間連接有六個微動驅動支腿(6)，從而使所述宏動動平臺(2)形成所述微動平臺B的微動定平臺；

其中，每個所述微動驅動支腿(6)端部均通過柔性鉸鏈(19)與所述微動動平臺(1)和所述承載平臺(16)連接。

2.根據權利要求1所述的一種六自由度高精度宏微并聯調整平臺，其特征在于；

所述宏動動平臺(2)下表面形成有所述承載平臺(16)，所述承載平臺(16)朝向所述宏動定平臺(4)方向延伸。

3.根據權利要求2所述的一種六自由度高精度宏微并聯調整平臺，其特征在于；

所述宏動動平臺(2)的構造為圓盤體結構，其下表面周向均布有三個所述承載平臺(16)，每個所述承載平臺(16)連接有兩個所述微動驅動支腿(6)。

4.根據權利要求3所述的一種六自由度高精度宏微并聯調整平臺，其特征在于；

所述宏動動平臺(2)邊緣位置開設有用于避讓所述微動驅動支腿(6)的豁口(26)。

5.根據權利要求1所述的一種六自由度高精度宏微并聯調整平臺，其特征在于；

所述微動動平臺(1)和所述承載平臺(16)對應所述微動驅動支腿(6)位置固連有固定塊，通過所述固定塊與所述柔性鉸鏈(19)固定連接。

6.根據權利要求1-5任一項所述的一種六自由度高精度宏微并聯調整平臺，其特征在于；

所述微動驅動支腿(6)包括固定支座(23)、固連在所述固定支座(23)一側的柔性支架(20)、以及設置在所述固定支座(23)內部的滾珠絲杠(22)；

所述柔性支架(20)與所述柔性鉸鏈(19)固定連接，且所述柔性支架(20)中部設置有垂直于所述滾珠絲杠(22)的柔性杠桿(201)，所述柔性杠桿(201)下部固連有與所述滾珠絲杠(22)螺旋傳動的第二絲杠螺母(21)，所述第二絲杠螺母(21)通過導向桿(232)與所述固定支座(23)滑動連接；

所述固定支座(23)內部還固連有伺服電機(25)，所述伺服電機(25)通過行星減速器(24)與所述滾珠絲杠(22)連接。

7.根據權利要求6所述的一種六自由度高精度宏微并聯調整平臺，其特征在于；

所述第二絲杠螺母(21)的位移量與所述柔性杠桿(201)上表面的變形量之比為100:1。

8.根據權利要求1所述的一種六自由度高精度宏微并聯調整平臺，其特征在于；

所述柔性鉸鏈(19)中部具有軸套部(191)，所述軸套部(191)呈十字交叉布設有兩組切口組，每組切口組具有兩個弧形切口(192)，兩個所述弧形切口(192)對稱地朝向所述軸套部(191)中心軸線傾斜延伸。

9.根據權利要求1所述的一種六自由度高精度宏微并聯調整平臺，其特征在于；

所述宏動驅動支腿(5)為能夠伸縮的支腿，所述宏動驅動支腿(5)端部通過偏置鉸鏈(3)與所述宏動動平臺(2)和所述宏動定平臺(4)連接。

10.根據權利要求9所述的一種六自由度高精度宏微并聯調整平臺，其特征在于；

所述宏動驅動支腿(5)包括本體、裝設在本體一端并與所述偏置鉸鏈(3)連接的端蓋(7)、套設在所述本體外部的移動支腿(14)；

所述本體內部裝設有力矩電機(10)和行星滾珠絲杠(13)、以及支撐所述行星滾珠絲杠(13)的絲杠支撐軸承(12)，所述力矩電機(10)與所述行星滾珠絲杠(13)之間連接有諧波減速器(11)；

所述端蓋(7)位于所述本體內固連有多圈絕對式編碼器(9)；

所述移動支腿(14)遠離所述本體端的內部固連有連接腿(141)，所述連接腿(141)通過第一絲杠螺母(142)與所述行星滾珠絲杠(13)的自由端螺旋傳動。