[發(fā)明專利]一種OHT軌道天車(chē)軌道對(duì)接維修車(chē)

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202211090285.3
• 申請(qǐng)日: 2022-09-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN115676619A
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-02-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 洪易;劉保千;金虎;金敏衡
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 合肥欣奕華智能機(jī)器股份有限公司
• 主分類號(hào): B66C13/00
• 分類號(hào): B66C13/00;B66C9/10;B66C9/00;B66C9/18;B66C5/02;B66C7/08
• 代理公司: 合肥晨創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 34162
• 代理人: 朱奕波

本發(fā)明公開(kāi)了一種OHT軌道天車(chē)軌道對(duì)接維修車(chē)，包括車(chē)體，還包括限位部、對(duì)接部和對(duì)位部，所述車(chē)體上設(shè)有用于對(duì)接維修區(qū)軌道的維修車(chē)軌道，所述限位部設(shè)置于所述車(chē)體兩側(cè)并位于所述維修車(chē)軌道的上方，所述對(duì)接部固定設(shè)置于所述維修車(chē)軌道的前端，所述對(duì)位部設(shè)置于所述車(chē)體的前下端兩側(cè)，所述維修車(chē)軌道有兩根，固定安裝在車(chē)體上中部并對(duì)稱分布。通過(guò)對(duì)位部達(dá)到指定位置，完成第一層對(duì)位，同時(shí)通過(guò)軌道對(duì)接部將OHT升降軌道與維修車(chē)軌道進(jìn)行對(duì)接，保證兩軌道兩側(cè)都在同一平面，且在天車(chē)行駛時(shí)對(duì)接處不出現(xiàn)變形，完成第二次對(duì)位，最后通過(guò)天車(chē)限位部確保天車(chē)在維修車(chē)中部進(jìn)行維修工作，不出現(xiàn)滑出事故。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體自動(dòng)化領(lǐng)域，具體是一種OHT軌道天車(chē)軌道對(duì)接維修車(chē)。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體自動(dòng)化領(lǐng)域中，空中運(yùn)輸裝置(OHT:Overhead Hoist Transport)是一種晶圓盒的傳輸裝置，廣泛應(yīng)用于大型自動(dòng)化晶圓廠內(nèi)，其中軌道天車(chē)的行駛是其中重要的一個(gè)環(huán)節(jié)。在使用過(guò)程中，軌道天車(chē)由于故障必須進(jìn)行維修或者定期維護(hù)保養(yǎng)，這時(shí)天車(chē)需要通過(guò)OHT升降系統(tǒng)傳至下方，同時(shí)通過(guò)一種維修車(chē)與升降系統(tǒng)對(duì)接，將天車(chē)移送至維修車(chē)上進(jìn)行維護(hù)。現(xiàn)有技術(shù)的不足之處在于：1、傳統(tǒng)的OHT未發(fā)現(xiàn)軌道對(duì)接式維修車(chē)；2、軌道對(duì)接結(jié)構(gòu)容易造成傳感器斷裂，出現(xiàn)異常報(bào)警。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種OHT軌道天車(chē)軌道對(duì)接維修車(chē)，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種OHT軌道天車(chē)軌道對(duì)接維修車(chē)，包括車(chē)體，還包括限位部、對(duì)接部和對(duì)位部，所述車(chē)體上設(shè)有用于對(duì)接維修區(qū)軌道的維修車(chē)軌道，所述限位部設(shè)置于所述車(chē)體兩側(cè)并位于所述維修車(chē)軌道的上方，所述對(duì)接部固定設(shè)置于所述維修車(chē)軌道的前端，所述對(duì)位部設(shè)置于所述車(chē)體的前下端兩側(cè)。

作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述維修車(chē)軌道有兩根，固定安裝在車(chē)體上中部并對(duì)稱分布。

作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述軌道對(duì)接部包括定位銷和第一固定塊構(gòu)成，所述定位銷通過(guò)第一固定塊固定安裝在所述維修車(chē)軌道的前端，當(dāng)維修車(chē)軌道與維修區(qū)軌道對(duì)接時(shí)，定位銷插接于維修區(qū)套筒部的套筒內(nèi)。

作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述限位部包括限位塊，固定手柄和滑軌，所述滑軌分別固定安裝在車(chē)體上，所述限位塊沿左右向滑動(dòng)安裝在滑軌上，所述固定手柄的端部穿過(guò)限位塊上的長(zhǎng)孔并與滑軌螺紋固定。

作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述車(chē)體由鋁型材框構(gòu)成。

作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述車(chē)體的底部安裝有腳輪和高度調(diào)整塊。

作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述車(chē)體的前端設(shè)置有用于判斷對(duì)接位置正確性的傳感器。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：

本專利提出了一種OHT維修用軌道對(duì)接式維修車(chē)，含有雙層對(duì)位系統(tǒng)。用于與OHT升降軌道對(duì)接，使天車(chē)可以行駛至維修車(chē)上進(jìn)行維修工作。維修車(chē)主要由車(chē)體，天車(chē)限位部，軌道對(duì)接部，對(duì)位部組成。首先將維修車(chē)移送至OHT升降系統(tǒng)前，通過(guò)對(duì)位部達(dá)到指定位置，完成第一層對(duì)位。同時(shí)通過(guò)軌道對(duì)接部將OHT升降軌道與維修車(chē)軌道進(jìn)行對(duì)接，保證兩軌道兩側(cè)都在同一平面，且在天車(chē)行駛時(shí)對(duì)接處不出現(xiàn)變形。完成第二次對(duì)位。最后通過(guò)天車(chē)限位部確保天車(chē)在維修車(chē)中部進(jìn)行維修工作，不出現(xiàn)滑出事故。雙層對(duì)接方案，提升對(duì)接效率，使用更加簡(jiǎn)便，軌道對(duì)接部由定位銷和定位套筒組成，不會(huì)出現(xiàn)部件已損壞的情況，減少部件損壞幾率，降低使用成本。

附圖說(shuō)明

圖1為OHT維修用軌道對(duì)接式維修車(chē)立體圖；

圖2為OHT升降維修區(qū)與維修車(chē)對(duì)位俯視圖；

圖3為OHT升降維修區(qū)與維修車(chē)軌道對(duì)接俯視圖；

圖4為OHT升降維修區(qū)與維修車(chē)軌道對(duì)接截面圖；