[發明專利]一種多晶硅太陽能電池片的制絨方法在審
| 申請號: | 202211082654.4 | 申請日: | 2022-09-02 |
| 公開(公告)號: | CN115394639A | 公開(公告)日: | 2022-11-25 |
| 發明(設計)人: | 楊肖波 | 申請(專利權)人: | 浙江中晶新能源股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/306 | 分類號: | H01L21/306;H01L21/3063;H01L31/18;H01L31/0236 |
| 代理公司: | 杭州中利知識產權代理事務所(普通合伙) 33301 | 代理人: | 盧海龍 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 多晶 太陽能電池 方法 | ||
本發明提供一種多晶硅太陽能電池片的制絨方法,涉及多晶硅太陽能板制作技術領域。該多晶硅太陽能電池片的制絨方法,包括以下步驟:S1、利用酸蝕刻法進行多晶硅制絨步驟一:配置原理:氟化氫10?25%,硝酸30?55%,硅氟酸3?8%,乙酸0.13?1%,鹽酸4?9%,氫氟酸10?15%,若干份水,將上述原料進行混合;步驟二:硝酸與氟化氫進行混合太陽能多硅電池片進行第一次制絨;步驟三:再次利用硝酸與氟化氫進行混合太陽能多硅電池片進行第二次制絨,且第二次制絨的溶液濃度小于第一制絨溶液濃度;步驟四:將多晶硅太陽能電池片放置在配置好的混合溶液中進行氧化。通過利用硝酸和氟化氫混合液對太陽能板進行處理,使多晶硅太陽能板表面的絨層保持均勻。
技術領域
本發明涉及多晶硅太陽能板制作技術領域,具體為一種多晶硅太陽能電池片的制絨方法。
背景技術
太陽能是人類取之不盡用之不竭的可再生資源,也是可直接利用的清潔能源之一。隨著社會的進步,人類面臨的能源危機、環境污染問題日益嚴重,這些問題已成為制約全球經濟發展的關鍵所在。開發使用可再生、清潔環保的新能源是未來社會發展的必然趨勢,近些年來,太陽能電池引起了人們廣泛的關注。太陽能電池具有許多顯著優勢,如無污染,能源隨處可得,使用壽命長等優點。作為一種可以高效地將光能轉化為電能的清潔、無污染的可再生資源,太陽能電池的應用已從軍事領域、航天領域進入工業、農業、通信、家用電器、電力等部門。
但目前,太陽能電池生產成本高,太陽能吸收率低限制了太陽能電池的進一步發展。因此對于如何降低生產成本,提高效率,降低反射率仍是目前太陽能電池研究的主要目標。
現有的表面制絨方法有化學腐蝕、電化學腐蝕、機械刻槽、離子刻蝕等技術,現有技術中大多是利用化學腐蝕技術進行制絨,在利用化學腐蝕進行制絨時存在一定的安全隱患,多種溶液相互混合后產生的氣體容易對工作人員的身體健康造成影響,而且堿制絨時操作步驟比較煩瑣,影響工作效率。
發明內容
(一)解決的技術問題
針對現有技術的不足,本發明提供了一種多晶硅太陽能電池片的制絨方法,解決了多晶硅反射率高以及不穩定性的問題。
(二)技術方案
為實現以上目的,本發明通過以下技術方案予以實現:一種多晶硅太陽能電池片的制絨方法,包括以下步驟:
S1、利用酸蝕刻法進行多晶硅制絨
步驟一:配置原理:氟化氫10-25%,硝酸30-55%,硅氟酸3-8%,乙酸0.13-1%,鹽酸4-9%,氫氟酸10-15%,若干份水,將上述原料進行混合;
步驟二:硝酸與氟化氫進行混合太陽能多硅電池片進行第一次制絨;
步驟三:再次利用硝酸與氟化氫進行混合太陽能多硅電池片進行第二次制絨,且第二次制絨的溶液濃度小于第一制絨溶液濃度;
步驟四:將多晶硅太陽能電池片放置在配置好的混合溶液中進行氧化,形成厚度為1-1.3nm的二氧化硅層;
步驟五:在二氧化硅層表面涂抹腐蝕原料,進行靜置,最后進行清洗、烘干,除去二氧化硅層。
S2、利用電化學制絨方法進行多晶硅制絨;
步驟一:將多晶硅片置于電解槽中,利用聚焦激光束對多晶硅片表面進行掃描,再進行電解,激光束的掃描使多晶硅片表面形成陣列光陷阱結構,電解液對多晶硅片表面產生電化學腐蝕。
優選的,所述第一次制絨硝酸與氟化氫濃度比為12:2。
優選的,所述第二制絨硝酸與氟化氫濃度比為9:1。
優選的,所述靜置時間為5-8分鐘。
優選的,所述第一制絨和第二制絨硝酸和氟化氫混合液的溫度為5-23℃。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





