[發明專利]一種磁控濺射用薄壁圓筒工件的夾具及裝夾方法

在審

• 申請號: 202211080665.9
• 申請日: 2022-09-05
• 公開（公告）號: CN115386851A
• 公開（公告）日: 2022-11-25
• 發明（設計）人: 陳義武;劉金生;黨文君;孟樹文;付天佐;程元芬;王江;鐘軼強
• 申請（專利權）人: 中核四0四有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/50;C23C14/04
• 代理公司: 北京八月瓜知識產權代理有限公司 11543
• 代理人: 陶敏

本發明涉及磁控濺射技術領域，尤其是涉及一種磁控濺射用薄壁圓筒工件的夾具及裝夾方法。該夾具包括：夾具筒體、夾具底蓋和夾具法蘭；夾具法蘭安裝于夾具筒體的上端；夾具底蓋安裝于夾具筒體的下端；夾具底蓋的下端面設有中心通孔，中心通孔的直徑小于夾具底蓋的下端面的直徑。本發明的夾具便于拆卸、安裝、裝夾，能夠有效地減少安裝過程對薄壁圓筒工件結構的損壞，保證薄壁圓筒工件與柱靶良好的同軸度，同時也能夠對薄壁圓筒工件的外壁起到良好的遮擋，減少人員工作量，提高工作效率。

技術領域

本發明涉及磁控濺射技術領域，尤其是涉及一種磁控濺射用薄壁圓筒工件的夾具及裝夾方法。

背景技術

現有的薄壁形圓筒工件內壁鍍膜時，由于薄壁形圓筒工件重量輕，壁厚較小，裝夾時易使其變形；薄壁圓筒形工件裝夾時不易保證和中心柱靶的同軸度；磁控濺射過程中存在一定的繞鍍性，對薄壁圓筒工件外壁造成污染，鍍膜之前需要采用錫紙等材料對工件外壁進行遮擋，操作流程較為繁瑣。因此設計了一種便于拆卸、安裝、裝夾的專用夾具，能夠有效地減少安裝過程對薄壁圓筒形工件結構的損壞，保證其與柱靶良好的同軸度，同時也能夠對外壁起到良好的遮擋，減少人員工作量，提高工作效率。

發明內容

本發明的第一目的在于提供一種磁控濺射用薄壁圓筒工件的夾具，該夾具便于拆卸、安裝、裝夾，能夠有效地減少安裝過程對薄壁圓筒形工件結構的損壞，保證其與柱靶良好的同軸度，同時也能夠對外壁起到良好的遮擋，減少人員工作量，提高工作效率。

本發明為實現第一目的，提供了一種磁控濺射用薄壁圓筒工件的夾具，包括：夾具底蓋、夾具筒體和夾具法蘭；所述夾具法蘭安裝于所述夾具筒體的上端；所述夾具底蓋安裝于所述夾具筒體的下端；所述夾具底蓋下端面設有中心通孔，所述中心通孔的直徑小于所述夾具底蓋下端面的直徑。

優選的，所述夾具底蓋下端面邊緣部位設置有用于支撐薄壁圓筒工件的突出結構。

優選的，所述突出結構的厚度小于夾具底蓋下端面的厚度。

優選的，所述夾具筒體的下部與所述夾具底蓋螺紋連接。

優選的，所述夾具筒體的下部外壁設置有外螺紋；所述夾具底蓋的內壁設置有與外螺紋相匹配的內螺紋。

優選的，所述夾具底蓋的外壁設置有防滑網紋。

優選的，所述夾具法蘭的中心設置有法蘭安裝孔，所述法蘭安裝孔套裝在夾具筒體的上端。

優選的，所述夾具法蘭的四周均勻設置有若干個法蘭支腿，所述法蘭支腿上設置有螺栓孔。

優選的，所述法蘭支腿的數量為三個；相鄰所述法蘭支腿的中線之間的夾角為120°。

本發明的第二目的在于提供一種上述的磁控濺射用薄壁圓筒工件的夾具的裝夾方法，該方法便于拆卸、安裝、裝夾，能夠有效地減少安裝過程對薄壁圓筒形工件結構的損壞變形，保證其與柱靶良好的同軸度，同時也能夠對外壁起到良好的遮擋，減少人員工作量，提高工作效率。

本發明為實現第二目的，提供了一種磁控濺射用薄壁圓筒工件的夾具的裝夾方法，包括如下步驟：

S1、將夾具法蘭連接在夾具筒體的上端；

S2、將夾具法蘭固定在鍍膜裝置上；

S3、將薄壁圓筒工件由下至上推入夾具筒體內；

S4、將夾具底蓋與夾具筒體連接。

有益效果：