[發明專利]一種柔性微透鏡陣列及其制備方法

在審

• 申請號: 202211073366.2
• 申請日: 2022-09-02
• 公開（公告）號: CN115390167A
• 公開（公告）日: 2022-11-25
• 發明（設計）人: 陶虎;維帥;秦楠
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海微系統與信息技術研究所
• 主分類號: G02B3/00
• 分類號: G02B3/00
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 黃盼

1.一種柔性微透鏡陣列，其特征在于，所述柔性微透鏡陣列包括柔性基底(1)與位于所述柔性基底(1)上的微透鏡陣列層(2)，所述微透鏡陣列層(2)包括陣列分布的微透鏡單體(21)，所述微透鏡陣列層(2)還包括剛毛體(22)，所述剛毛體(22)位于所述微透鏡單體(21)之間，所述剛毛體(22)的高度大于所述微透鏡單體(21)的高度。

2.根據權利要求1所述的柔性微透鏡陣列，其特征在于，所述剛毛體(22)上遠離所述柔性基底(1)的一端的直徑小于等于另一端的直徑。

3.根據權利要求1所述的柔性微透鏡陣列，其特征在于，所述剛毛體(22)包括加強部(220)，所述加強部(220)位于所述剛毛體(22)上遠離所述柔性基底(1)的一端。

4.根據權利要求1所述的柔性微透鏡陣列，其特征在于，所述微透鏡陣列層(2)還包括間隙區域，所述間隙區域位于所述微透鏡單體(21)之間，所述剛毛體(22)位于至少部分間隙區域。

5.根據權利要求1所述的柔性微透鏡陣列，其特征在于，所述微透鏡單體(21)包括折射曲面(210)，所述折射曲面(210)位于所述微透鏡單體(21)上遠離所述柔性基底(1)的一側，所述折射曲面(210)的曲率半徑小于等于50μm。

6.根據權利要求5所述的柔性微透鏡陣列，其特征在于，所述微透鏡單體(21)的高度小于等于100μm。

7.根據權利要求5所述的柔性微透鏡陣列，其特征在于，所述剛毛體(22)的高度小于等于100μm。

8.根據權利要求5所述的柔性微透鏡陣列，其特征在于，所述柔性微透鏡陣列的厚度小于等于200μm。

9.一種柔性微透鏡陣列的制備方法，其特征在于，用于制備如權利要求1-8任一項所述的柔性微透鏡陣列，所述方法包括：

向柔性基底表面施加光刻膠；

對所述光刻膠進行成型處理，得到所述柔性微透鏡陣列。

10.根據權利要求9所述的制備方法，其特征在于，在所述向柔性基底表面施加光刻膠之前，所述方法還包括：

提供柔性薄膜；

對所述柔性薄膜進行預處理，得到所述柔性基底。