[發明專利]一種匹配器電機控制方法和一種半導體工藝設備

在審

• 申請號: 202211063724.1
• 申請日: 2022-08-31
• 公開（公告）號: CN115459646A
• 公開（公告）日: 2022-12-09
• 發明（設計）人: 李穎;成曉陽;吳韋
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: H02P8/14
• 分類號: H02P8/14;H02P23/20;H01J37/32
• 代理公司: 北京潤澤恒知識產權代理有限公司 11319
• 代理人: 楊柳苑

1.一種匹配器電機控制方法，其特征在于，應用于半導體工藝設備，所述半導體工藝設備包括射頻匹配器，所述射頻匹配器包括射頻匹配器電機，所述方法包括：

獲取所述射頻匹配器電機在預設加速度下，由起始旋轉速度加速至峰值旋轉速度之間的加速步數；

依據所述加速步數控制所述射頻匹配器電機運行至目標速度，其中，所述目標速度小于或等于所述峰值旋轉速度；

在所述射頻匹配器電機達到所述目標速度后，獲取輸入阻抗；

當所述輸入阻抗與預設特征阻抗不一致時，采用所述目標速度更新所述起始旋轉速度，并繼續執行所述獲取所述射頻匹配器電機在預設加速度下，由起始旋轉速度加速至峰值旋轉速度之間的加速步數的步驟，直至所述輸入阻抗與所述預設特征阻抗一致。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述獲取所述射頻匹配器電機在預設加速度下，由起始旋轉速度加速至峰值旋轉速度之間的加速步數，包括：

計算所述射頻匹配器電機在預設加速度下，由所述起始旋轉速度加速至所述峰值旋轉速度之間的加速步數；

獲取所述加速步數。

3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，所述半導體工藝設備還包括計時器，所述計時器對應有時鐘頻率值；所述射頻匹配器電機對應有步距角度；所述計算所述射頻匹配器電機在預設加速度下，由所述起始旋轉速度加速至所述峰值旋轉速度之間的加速步數，包括：

基于所述時鐘頻率值、所述步距角度和所述預設加速度，計算所述預設加速度對應的初始計數值；

計算所述時鐘頻率值與所述起始旋轉速度的比值，得到第一計數值；

計算所述時鐘頻率值與所述峰值旋轉速度的比值，得到第二計數值；

根據所述第一計數值和所述初始計數值，確定第一步數；

根據所述第二計數值和所述初始計數值，確定第二步數；

計算所述第一步數與所述第二步數的差值，得到加速步數。

4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述基于所述時鐘頻率值、所述步距角度和所述預設加速度，計算所述預設加速度對應的初始計數值，包括：

代入所述時鐘頻率值、所述步距角度和所述預設加速度至預設初始定時器計數值公式，得到所述初始計數值；所述預設初始定時器計數值公式為：

其中，C₀為所述初始計數值，α為所述步距角度，A為所述預設加速度，t_t為預設周期。

5.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述根據所述第一計數值和所述初始計數值，確定第一步數，包括：

判斷所述初始計數值是否大于所述第一計數值；

當所述初始計數值大于所述第一計數值時，確定所述初始計數值對應的初始步數為第一步數；

當所述初始計數值不大于所述第一計數值時，基于預設迭代函數，以預設迭代數為輸入，得到迭代計數值；

判斷所述迭代計數值是否大于所述第一計數值；

當所述迭代計數值大于所述第一計數值，確定所述預設迭代數為第一步數；

當所述迭代計數值不大于所述第一計數值，遞增所述預設迭代數，更新所述迭代計數值。

6.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述根據所述第二計數值和所述初始計數值，確定第二步數，包括：

判斷所述初始計數值是否大于所述第二計數值；

當所述初始計數值大于所述第二計數值時，確定所述初始計數值對應的初始步數為第二步數；

當所述初始計數值不大于所述第二計數值時，基于預設迭代函數，以預設迭代數為輸入，得到迭代計數值；

判斷所述迭代計數值是否大于所述第二計數值；

當所述迭代計數值大于所述第二計數值，確定所述預設迭代數為第二步數；

當所述迭代計數值不大于所述第二計數值，遞增所述預設迭代數，更新所述迭代計數值。