[發明專利]粒子束柱

在審

• 申請號: 202211047168.9
• 申請日: 2022-08-29
• 公開（公告）號: CN115732295A
• 公開（公告）日: 2023-03-03
• 發明（設計）人: E.埃瑟斯;B.加姆
• 申請（專利權）人: 卡爾蔡司顯微鏡有限責任公司
• 主分類號: H01J37/09
• 分類號: H01J37/09;H01J37/10;H01J37/141;H01J37/26;H01J37/28
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 王蕊瑞

1.一種粒子束柱(1，101)，包括：

粒子束發生器(10)，用于生成帶電粒子的粒子束(3)；

第一光闌(21，25)，具有在操作期間該粒子束(3)被引導到其上的孔徑(22，26)；

第一透鏡(50，150)，被配置為可變地設置該粒子束(3)在該第一光闌(21，25)的上游的發散角，其結果是，該粒子束(3)穿過該第一光闌(21，25)的孔徑(22，26)的電流強度是可變地設置的；

多孔徑光闌(40)，布置在該第一光闌(21，25)的下游，具有彼此相鄰布置的多個不同大小的孔徑(41)；

偏轉系統(43)，被配置為選擇性地將該第一光闌(21，25)的下游的粒子束(3)偏轉到該多孔徑光闌(40)的孔徑(41)之一上；

其中，該第一透鏡(50，150)被配置為在操作期間與該第一光闌(21，25)相互作用來設置該粒子束(3)的發散角，使得該粒子束(3)恰好被引導到該多孔徑光闌(40)的孔徑(41)之一上；以及

物鏡(30)，布置在該多孔徑光闌(40)的下游并且被配置為聚焦穿過該多孔徑光闌(40)的選定孔徑(41)的粒子束(3)。

2.根據權利要求1所述的粒子束柱(1，101)，其中，該第一光闌(21，25)和該多孔徑光闌(40)在操作期間具有相同的電位。

3.根據權利要求1或2所述的粒子束柱(1，101)，還包括：控制元件，被配置為操作該第一透鏡(50，150)，使得該粒子束(3)在該多孔徑光闌(40)的上游沒有交叉。

4.根據權利要求1或2所述的粒子束柱(1，101)，還包括：控制元件，被配置為操作該第一透鏡(50，150)，使得該粒子束(3)在該多孔徑光闌(40)的上游具有交叉。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的粒子束柱(1，101)，還包括：

第二透鏡(60)，被配置為可變地設置該粒子束(3)在該多孔徑光闌(40)與該物鏡(30)之間的發散角。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的粒子束柱(1，101)，其中，該偏轉系統(43)還被配置為在該多孔徑光闌(40)與該物鏡(30)之間偏轉該粒子束(3)。

7.根據權利要求1至6中任一項所述的粒子束柱(1，101)，其中，該第一透鏡(50，150)包括磁透鏡(51，151)和/或靜電透鏡(55)。

8.根據權利要求1至7中任一項所述的粒子束柱(1，101)，其中，該第一透鏡(50，150)被配置為通過改變該第一光闌(21，25)的上游的粒子束(3)相對于被多孔徑光闌(40)阻擋的粒子束(3)的部分的發散角來連續可變地設置該粒子束(3)的穿過該多孔徑光闌(40)的選定孔徑(41)的部分。

9.根據權利要求1至8中任一項所述的粒子束柱(1，101)，還包括：

檢測器(6)，布置在該多孔徑光闌(40)與該物鏡(30)之間并且被配置為檢測粒子或輻射。