[發明專利]一種半導體石英晶圓空間角度一體化精密調節裝置

在審

• 申請號: 202211000628.2
• 申請日: 2022-08-19
• 公開（公告）號: CN115332148A
• 公開（公告）日: 2022-11-11
• 發明（設計）人: 楊偉;伍瑋;黎玉華
• 申請（專利權）人: 成都中科卓爾智能科技集團有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 北京市領專知識產權代理有限公司 11590
• 代理人: 代平

1.一種半導體石英晶圓空間角度一體化精密調節裝置，其特征在于：包括固定座(4)和調節座(1)，所述固定座(4)與調節座(1)之間設置有支撐球(3)和若干彈簧，所述若干彈簧的兩端分別與固定座(4)和調節座(1)固定連接，所述支撐球(3)的上端和下端分別抵靠于調節座(1)和固定座(4)上，所述若干彈簧均處于拉伸狀態，所述調節座(1)上設置有調節螺釘，所述調節螺釘與調節座(1)通過螺紋連接，所述調節螺釘的螺柱部分抵靠在固定座(4)上。

2.根據權利要求1所述的一種半導體石英晶圓空間角度一體化精密調節裝置，其特征在于：所述固定座(4)和調節座(1)上均設置有用于對支撐球(3)定位的圓形凹槽，所述圓形凹槽上至少有一個圓與支撐球(3)的球面相切。

3.根據權利要求2所述的一種半導體石英晶圓空間角度一體化精密調節裝置，其特征在于：所述圓形凹槽的面為球形面，所述球形面的半徑與支撐球(3)的半徑相同。

4.根據權利要求1所述的一種半導體石英晶圓空間角度一體化精密調節裝置，其特征在于：所述調節螺釘有三個，三個所述調節螺釘與支撐球(3)形成調節座(1)與固定座(4)之間的四個支撐點，所述四個支撐點的連線為四邊形。

5.根據權利要求4所述的一種半導體石英晶圓空間角度一體化精密調節裝置，其特征在于：所述四邊形為正方形，正方形以所述支撐球(3)所在的對角線為基準線，所述基準線兩側的彈簧對稱設置。

6.根據權利要求5所述的一種半導體石英晶圓空間角度一體化精密調節裝置，其特征在于：所述固定座(4)和調節座(1)在俯視視角下的形狀為正方形，并且在俯視視角下，所述支撐球(3)和三個所述調節螺桿分別位于固定座(4)和調節座(1)的四個角所在的位置。

7.根據權利要求6所述的一種半導體石英晶圓空間角度一體化精密調節裝置，其特征在于：在俯視視角下，所述支撐球(3)和三個所述調節螺釘均位于固定座(4)和調節座(1)的對角線上。

8.根據權利要求1所述的一種半導體石英晶圓空間角度一體化精密調節裝置，其特征在于：所述固定座(4)上設置有墊塊(5)，所述墊塊(5)上設置有滑槽(13)，所述調節螺釘的尖端抵靠在滑槽(13)的槽底。

9.根據權利要求1所述的一種半導體石英晶圓空間角度一體化精密調節裝置，其特征在于：所述調節座(1)上設置有螺套(6)，所述螺套(6)上設置有螺孔，所述螺套(6)與調節座(1)固定連接，螺套(6)上的螺孔用于與調節螺釘連接。