[發明專利]一種潔凈環境用晶圓傳輸機器人

在審

• 申請號: 202210954414.2
• 申請日: 2022-08-10
• 公開（公告）號: CN115157227A
• 公開（公告）日: 2022-10-11
• 發明（設計）人: 邢瑩;王超;李松陽
• 申請（專利權）人: 三河建華高科有限責任公司
• 主分類號: B25J9/04
• 分類號: B25J9/04;B25J15/06
• 代理公司: 北京精翰專利代理有限公司 11921
• 代理人: 胡浩

本發明公開了一種潔凈環境用晶圓傳輸機器人，包括支撐底座，所述支撐底座的上表面轉動連接有轉動座，所述轉動座的輸出端安裝有機械臂模塊，所述機械臂模塊的輸出端安裝有固定架和固定環，所述固定架的底部固定安裝有吸附罩，所述吸附罩的底部滑動連接有底部滑板，所述固定環的底部固定安裝有固定板，所述固定板的內底部固定安裝有電動推桿。本發明所述的一種潔凈環境用晶圓傳輸機器人，電動推桿將底部連接板推出至底部滑板的下方，使折疊網兜展開平鋪在底部滑板的正下方，底部滑板上吸附的晶圓在傳輸過程中掉落時，下方的折疊網兜對掉落的晶圓進行接住，以避免負壓氣泵吸附力度不夠導致吸附的晶圓在傳輸過程中掉落地面損失。

技術領域

本發明涉及傳輸機器人領域，特別涉及一種潔凈環境用晶圓傳輸機器人。

背景技術

在超大規模集成電路(IC)制造過程中，晶圓需要在數百道工藝之間頻繁傳輸，晶圓生產線工序集中，加工速度快，工作環境潔凈度要求高，需要高性能的晶圓傳輸機器人，現有的晶圓傳輸機器人通常使用負壓吸附的方式進行晶圓的傳輸，即利用其工作端安裝的氣泵工作產生的負壓對晶圓進行吸附，這樣由于晶圓在傳輸模板上的位置不同，需要對晶圓片進行吸附時，需要將吸附模塊與晶圓片進行對準浪費了大量時間，若不進行對準可能會導致晶圓在傳輸過程中從吸附模塊上掉落，同時在傳輸過程中氣泵發生故障或者裝置的晃動也可能導致晶圓在傳輸過程中從吸附模塊上掉落，當晶圓在傳輸過程中從吸附模塊上掉落時，無法及時對晶圓進行保護極易引起晶圓掉落地面損傷，鑒于此，我們提出一種潔凈環境用晶圓傳輸機器人。

發明內容

本發明的主要目的在于提供一種潔凈環境用晶圓傳輸機器人，能夠有效解決背景技術中的問題：由于晶圓在傳輸模板上的位置不同，需要對晶圓片進行吸附時，需要將吸附模塊與晶圓片進行對準浪費了大量時間，若不進行對準可能會導致晶圓在傳輸過程中從吸附模塊上掉落，同時在傳輸過程中氣泵發生故障或者裝置的晃動也可能導致晶圓在傳輸過程中從吸附模塊上掉落，當晶圓在傳輸過程中從吸附模塊上掉落時，無法及時對晶圓進行保護極易引起晶圓掉落地面損傷。

為實現上述目的，本發明采取的技術方案為：

一種潔凈環境用晶圓傳輸機器人，包括支撐底座，所述支撐底座的上表面轉動連接有轉動座，所述轉動座的輸出端安裝有機械臂模塊，所述機械臂模塊的輸出端安裝有固定架和固定環，所述固定架的底部固定安裝有吸附罩，所述吸附罩的底部滑動連接有底部滑板，所述固定環的底部固定安裝有固定板，所述固定板的內底部固定安裝有電動推桿，所述電動推桿的輸出端固定安裝有底部連接板，所述固定板與底部連接板之間固定安裝有折疊網兜，所述底部滑板的內底部固定安裝有指示燈架，所述指示燈架設置為十字型，所述固定架的上表面固定安裝有負壓氣泵，展開后的所述折疊網兜位于底部滑板的正下方。

本發明進一步的改進在于，所述底部滑板的背對吸附罩的一側固定安裝有保護墊，所述底部滑板的兩側固定安裝有滑動套，所述底部滑板的上端在吸附罩內部滑動，所述底部滑板的側面通過活塞環與吸附罩的內沿連接，所述底部滑板的兩側固定安裝有滑動套，所述吸附罩的內沿固定安裝有固定桿，所述滑動套與固定桿滑動連接，所述滑動套的上表面固定安裝有復位彈簧，所述復位彈簧的上端與側槽內沿固定連接。

本發明進一步的改進在于，所述吸附罩的內沿兩側分別固定安裝有激光發射器和激光接收器，所述激光發射器與激光接收器通過光路連接，所述底部滑板移動至最高點時對激光發射器與激光接收器之間的光路進行阻擋。

本發明進一步的改進在于，所述折疊網兜位于兩個電動推桿之間，所述底部連接板的內部開設有內腔，所述內腔的內部滑動連接有內滑動板，所述內滑動板的左端固定安裝有拉動環，所述內滑動板的側面固定安裝有壓縮彈簧，所述壓縮彈簧的遠離內滑動板的一端與內腔的內沿固定連接，所述折疊網兜的遠離固定板的一端與拉動環固定連接。

本發明進一步的改進在于，所述內腔的內沿固定安裝有報警開關，所述轉動座的上表面固定安裝有報警器，按壓所述報警開關控制報警器工作。