[發明專利]高精度粘接厚度控制裝置

在審

• 申請號: 202210904259.3
• 申請日: 2022-07-29
• 公開（公告）號: CN115163628A
• 公開（公告）日: 2022-10-11
• 發明（設計）人: 盧業能;張偉;馮吉祥;汪軍;包訓旺;王泓泉;張勇;陳召全
• 申請（專利權）人: 中航華東光電有限公司
• 主分類號: F16B11/00
• 分類號: F16B11/00
• 代理公司: 北京潤平知識產權代理有限公司 11283
• 代理人: 董杰

1.一種高精度粘接厚度控制裝置，其特征在于，所述裝置包括上蓋板(1)、底座板(4)和控制系統，所述上蓋板(1)的底端面可拆卸地固定有第一待粘接樣品(2)，所述底座板(4)的頂端面可拆卸地固定有第二待粘接樣品(3)，所述底座板(4)與所述上蓋板(1)之間設有高度控制裝置(5)，所述高度控制裝置(5)設置為能夠根據所述第一待粘接樣品(2)和第二待粘接樣品(3)的厚度調整所述上蓋板(1)與所述底座板(4)之間的高度；所述上蓋板(1)通過距離控制裝置(6)與驅動結構相連接，所述距離控制裝置(6)設置為能夠調整所述上蓋板(1)與所述底座板(4)之間的距離；其中，

所述高度控制裝置(5)還包括用于探測所述上蓋板(1)壓力值的壓力傳感器，所述壓力傳感器能夠將探測的壓力值傳遞給所述控制系統，并由所述控制系統調控所述距離控制裝置(6)的壓力大小。

2.根據權利要求1所述的高精度粘接厚度控制裝置，其特征在于，所述可拆卸地固定方式包括真空吸附和/或機械夾持。

3.根據權利要求1所述的高精度粘接厚度控制裝置，其特征在于，所述距離控制裝置(6)為多個且設置在所述上蓋板(1)的拐角處。

4.根據權利要求1所述的高精度粘接厚度控制裝置，其特征在于，所述距離控制裝置(6)和高度控制裝置(5)的調控精度為1微米。

5.根據權利要求3所述的高精度粘接厚度控制裝置，其特征在于，所述控制系統設置為能夠依據分析得到的壓力差來分別控制單個所述距離控制裝置(6)調控距離。

6.根據權利要求5所述的高精度粘接厚度控制裝置，其特征在于，多個所述距離控制裝置(6)調控距離時需使得所述壓力傳感器的壓力值保持在0-10N。

7.根據權利要求6所述的高精度粘接厚度控制裝置，其特征在于，所述壓力傳感器有多個且每個所述壓力傳感器的差值不大于平均壓力的10％。

8.根據權利要求1所述的高精度粘接厚度控制裝置，其特征在于，所述底座板(4)頂端面的中心區域為第二待粘接樣品固定區域(4-1)，拐角處設置有所述高度控制裝置(5)，位于相鄰所述高度控制裝置(5)之間的位置上形成有第二待粘接樣品粘接對位區域(4-2)。

9.根據權利要求8所述的高精度粘接厚度控制裝置，其特征在于，所述第二待粘接樣品粘接對位區域(4-2)采用CCD對位技術，其中，對位標記為圓形、方形或十字形。

10.根據權利要求1所述的高精度粘接厚度控制裝置，其特征在于，所述上蓋板(1)底端面的中心區域為第一待粘接樣品固定區域(1-1)，所述第一待粘接樣品固定區域(1-1)劃分為多個分區，每個分區之間形成有間隙，每個分區突出所述上蓋板(1)并設置為能夠在分區控制機構的控制下獨立沿所述上蓋板(1)的平面法線方向上下移動，位移精度達1微米；其中，所述分區控制機構內設置有能夠自主控制的壓力吸附系統；

所述第一待粘接樣品固定區域(1-1)的邊緣沿周向方向均勻間隔設有多個第一待粘接樣品粘接對位區域(1-2)，所述第一待粘接樣品粘接對位區域(1-2)采用CCD對位技術，對位標記為圓形、方形或十字形。