[實用新型]一種光闌及檢測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202221506572.3
• 申請日: 2022-06-15
• 公開（公告）號: CN218098925U
• 公開（公告）日: 2022-12-20
• 發(fā)明（設計）人: 辛自強;劉偉龍;陳魯;張嵩
• 申請（專利權）人: 深圳中科飛測科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G01N21/01;G01M11/00
• 代理公司: 深圳鼎合誠知識產(chǎn)權代理有限公司 44281
• 代理人: 劉志海;彭家恩

一種光闌及檢測裝置，其中，光闌包括具有通光通道的本體件以及可轉動地裝設于本體件的遮光件，遮光件被配置成可控地在第一狀態(tài)與第二狀態(tài)之間切換；在第一狀態(tài)下，光束的至少部分能夠因遮光件的遮擋而無法通過通光通道；在第二狀態(tài)下，遮光件能夠解除對光束的遮擋。在對晶圓等進行檢測時，可利用遮光件能夠相對本體件轉動的特點，精確地對一部分檢測光束進行遮擋，使檢測光束不會直接且集中地照射到大顆粒缺陷上，從而能夠有效避免出現(xiàn)因大顆粒缺陷炸裂而污染晶圓等問題；同時，通過光闌的另一部分檢測光束則可照射到位于大顆粒缺陷周圍的小顆粒缺陷上，以實現(xiàn)小顆粒缺陷的檢測，避免發(fā)生小顆粒缺陷漏檢等問題。

技術領域

本實用新型涉及光學元件領域，具體涉及一種光闌及檢測裝置。

背景技術

光闌是一種在光學系統(tǒng)中對光束起到約束限制作用的實體，在現(xiàn)有的半導體（例如晶圓）檢測設備的光學系統(tǒng)中，通常會借助光闌對檢測光源所發(fā)出的檢測光束的空間位置、光斑的形狀及大小等進行限制。為提升半導體檢測設備的靈敏度以及檢測的準確性，檢測光源大多采用激光光源，由于激光束的波長短、功率大，在激光束經(jīng)過光闌照射到晶圓上的大顆粒缺陷時，常常會導致大顆粒缺陷被炸裂，不但容易對晶圓造成污染，而且很容易發(fā)生小顆粒缺陷漏檢等問題。

實用新型內(nèi)容

本實用新型主要解決的技術問題是提供一種光闌以及應用了該光闌的檢測裝置，旨在避免發(fā)生污染、漏檢等問題。

根據(jù)第一方面，一種實施例中提供一種光闌，包括：

本體件，具有通光通道，所述通光通道用于光束通過；以及

遮光件，以可相對所述本體件轉動的方式裝設于本體件，所述遮光件被配置為可控地在第一狀態(tài)和第二狀態(tài)之間轉動切換；

當所述遮光件處于第一狀態(tài)時，能夠使光束的至少部分因所述遮光件的遮擋而無法通過通光通道；

當所述遮光件處于第二狀態(tài)時，能夠解除對光束的遮擋。

一個實施例中，所述遮光件的數(shù)量設置為多個，多個所述遮光件按預設間距并排排布于通光通道內(nèi)，或多個所述遮光件按預設間距并排排布并與通光通道相對布置。

一個實施例中，當相鄰兩個所述遮光件同時處于第一狀態(tài)時，相鄰兩個所述遮光件中一者的邊緣抵貼或重疊于另一者的邊緣。

一個實施例中，所述遮光件包括遮光片，用于遮擋光束；當所述遮光片垂直于光束的光路時，所述遮光件處于第一狀態(tài)；當所述遮光片平行于光束的光路時，所述遮光件處于第二狀態(tài)。

一個實施例中，所述遮光片為金屬材料或無機硬質(zhì)材料制成的薄片狀結構。

一個實施例中，還包括機械式驅動件，所述機械式驅動件的動力端耦合至遮光片，用以驅使所述遮光片在第一狀態(tài)和第二狀態(tài)之間轉動切換。

一個實施例中，還包括電場式驅動件，所述電場式驅動件包括第一電極和第二電極，所述第一電極固定設置于遮光件，所述第二電極沿遮光件的轉動軌跡固定設置于預設位置；所述第一電極和第二電極被配置成可選擇地接收方向相同或方向相反的電壓信號。

一個實施例中，還包括磁場式驅動件，所述磁場式驅動件包括用于產(chǎn)生磁場的通電線圈和用于感應磁場的磁性件，所述通電線圈和磁性件中的一者固定設置于遮光件、另一者沿所述遮光件的轉動軌跡固定設置于預設位置。

根據(jù)第二方面，一種實施例中提供一種檢測裝置，包括：

光源模塊，被配置為向待測物出射檢測光束，以經(jīng)待測物形成信號光；

光闌模塊，布置在所述檢測光束的光路上，所述光闌模塊包括第一方面所述的光闌；以及

檢測模塊，被配置為探測所述信號光，并根據(jù)所述信號光獲取待測物的檢測信息。