[發明專利]晶圓運輸盒

在審

• 申請號: 202210858846.3
• 申請日: 2022-07-20
• 公開（公告）號: CN115775759A
• 公開（公告）日: 2023-03-10
• 發明（設計）人: 金相振
• 申請（專利權）人: 3S韓國株式會社
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 全振永;金光軍

1.一種晶圓運輸盒，包括：

下部殼體(200)，包括底板(201)和一個以上的下部擋邊(210)，所述一個以上的下部擋邊(210)垂直形成于所述底板(201)的上表面以形成弧形的壁，從而在內部空間(A)中堆疊晶圓；及

上部殼體(100)，包括頂板(101)和上部擋邊(110)，所述上部擋邊(110)垂直形成于所述頂板(101)的下表面以形成弧形的壁，

其中，所述下部擋邊(210)以預定間隔包括朝向內側面的一個以上的突出部件(215)，

當所述上部殼體(100)與下部殼體(200)結合時，所述突出部件(215)固定堆疊在所述內部空間(A)中的晶圓。

2.根據權利要求1所述的晶圓運輸盒，其中，

所述下部殼體(200)在底板(201)的上表面的每個邊角處包括與所述上部殼體(100)結合時進行結合固定的一個以上的閂鎖(250)，

所述上部殼體(100)在頂板(101)的每個邊角處的對應于所述閂鎖(250)的位置上包括結合固定所述閂鎖的一個以上的閂鎖孔(150)。

3.根據權利要求2所述的晶圓運輸盒，其中，

所述閂鎖(250)包括：

第一閂鎖部件(252)，在所述底板(201)上位于所述下部擋邊(210)的外側，并在所述底板(210)的上表面形成有底部；

第二閂鎖部件(251)，在所述第一閂鎖部件(252)沿垂直方向形成為與所述下部擋邊(210)相面對；及

第三閂鎖部件(253)，向所述第二閂鎖部件(251)的內側面突出，

其中，在所述上部殼體(100)與下部殼體(200)結合時，所述第三閂鎖部件(253)固定結合于所述閂鎖孔(150)。

4.根據權利要求3所述的晶圓運輸盒，其中，

所述下部殼體(200)還包括：

支撐部件(220)，支撐所述下部擋邊(210)，

其中，所述支撐部件(220)布置于所述閂鎖(250)與所述下部擋邊(210)之間，并且在所述下部擋邊(210)的下端部沿著所述下部擋邊(210)形成弧形。

5.根據權利要求1所述的晶圓運輸盒，其中，

所述下部擋邊(210)具有0.5°～3.0°的拔模斜度，

所述突出部件(215)結合的部分具有0°的拔模斜度。

6.根據權利要求5所述的晶圓運輸盒，其中，

所述下部擋邊(210)具有0.5°～1.0°的拔模斜度。