[發明專利]一種實現單面涂覆的鏈式沉積設備

在審

• 申請號: 202210825333.2
• 申請日: 2022-07-14
• 公開（公告）號: CN115025926A
• 公開（公告）日: 2022-09-09
• 發明（設計）人: 王敏;潘浩;王俊;任常瑞;符黎明
• 申請（專利權）人: 常州時創能源股份有限公司
• 主分類號: B05C1/08
• 分類號: B05C1/08;B05C13/02;H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種實現單面涂覆的鏈式沉積設備，包括傳送帶，傳送帶包括輸送帶；傳送帶的正上方設有液態源沉積裝置；傳送帶的下部設有：對輸送帶外圈進行清洗的清洗裝置，以及對輸送帶外圈進行干燥處理的干燥裝置；且輸送帶轉動過程中先經過清洗裝置后經過干燥裝置。本發明可使硅片僅有上表面涂覆液態源，實現硅片單面涂覆液態源，并使硅片下表面保持清潔；本發明可根據需要選擇涂覆輥的軟硬度，可解決涂覆輥和液態源的匹配問題。

技術領域

本發明涉及一種實現單面涂覆的鏈式沉積設備。

背景技術

光伏電池片制備過程中，需要對硅片進行單面涂覆液態源，如僅在硅片一側表面滾涂液態源。一般是采用輥道平置傳送硅片，并通過輥道正上方的涂覆輥對硅片的上表面滾涂液態源。為了控制液態源的滾涂厚度，需要將輥道的一個傳動輥設置在涂覆輥正下方，硅片經過該傳動輥與涂覆輥之間的間隙，涂覆輥可在硅片上表面涂覆一層一定厚度的液態源。

但批量生產時，輥道上的硅片是間隔排列的，輥道傳送方向上相鄰兩個硅片之間有一定間隔。故涂覆輥正下方并非一直有硅片，在前一硅片已經過涂覆輥而后一硅片還未到達涂覆輥正下方時，涂覆輥上的液態源可能會掉落在傳動輥上，即涂覆輥正下方的傳動輥也帶有了液態源；后續硅片經過傳動輥與涂覆輥之間的間隙時，硅片的下表面會與傳動輥上的液態源接觸，進而硅片的下表面也會沾上一定量的液態源，這樣硅片就不是僅單面沉積液態源了，會影響后續制程，甚至影響最終所制備光伏電池片的性能。

另外，目前輥道一般采用硬質傳動輥來傳送硅片，相應的，涂覆輥就只能選用硬度較小的材質（如采用軟輥），這限制了涂覆輥的材料選型范圍，會導致涂覆輥與液態源匹配度較差。

發明內容

為解決現有技術的缺陷，本發明提供一種實現單面涂覆的鏈式沉積設備，包括傳送帶，傳送帶包括：用于平置傳送硅片的輸送帶；傳送帶的正上方設有：用于對（輸送帶上）硅片上表面沉積液態源的液態源沉積裝置；傳送帶的下部設有：用于對輸送帶外圈進行干燥處理的干燥裝置。

優選的，所述干燥裝置包括：用于吹干輸送帶外圈的吹干裝置（如風刀）。

優選的，所述吹干裝置的氣源為：室溫氣體，或經過加熱的氣體。

優選的，所述干燥裝置包括：用于烘干輸送帶外圈的烘干裝置。

優選的，所述烘干裝置包括：可供輸送帶通行的烘箱；輸送帶在烘箱中通行，且烘箱加熱烘干在烘箱中通行的輸送帶。

優選的，所述傳送帶的下部還設有：用于對輸送帶外圈進行清洗的清洗裝置；且輸送帶轉動過程中先經過清洗裝置后經過干燥裝置。

優選的，所述清洗裝置包括：用于對輸送帶外圈進行浸洗的浸洗裝置；且輸送帶轉動過程中先經過浸洗裝置后經過干燥裝置。

優選的，所述浸洗裝置包括：存有清洗液的浸洗槽；

所述傳送帶的下部還設有：用于引導輸送帶浸入浸洗槽的浸洗輥；浸洗輥位于輸送帶的內圈，且浸洗輥的底部浸入浸洗槽中；

且輸送帶轉動過程中先經過浸洗槽后經過干燥裝置。

優選的，所述清洗裝置包括：用于對輸送帶外圈進行噴洗的噴洗裝置（如對輸送帶外圈噴灑清洗液的噴嘴）；且輸送帶轉動過程中先經過噴洗裝置后經過干燥裝置。

優選的，所述清洗裝置包括：用于對輸送帶外圈進行擦洗的擦洗裝置；且輸送帶轉動過程中先經過擦洗裝置后經過干燥裝置。

優選的，所述擦洗裝置包括：用于對輸送帶外圈進行擦洗的擦洗輥；擦洗輥位于輸送帶的外圈；擦洗輥配有：用于去除擦洗輥上液體的擠液輥；擠液輥貼靠擦洗輥；且輸送帶轉動過程中先經過擦洗輥后經過干燥裝置。

優選的，所述液態源沉積裝置為滾涂裝置、噴涂裝置、超聲霧化沉積裝置、絲網印刷裝置。