[發明專利]一種提高大粒徑碳化硅粉料占比的固相合成方法在審
| 申請號： | 202210792210.3 | 申請日： | 2022-07-07 |
| 公開（公告）號： | CN115124040A | 公開（公告）日： | 2022-09-30 |
| 發明（設計）人： | 涂小牛;賀賢漢;李有群;吳寒 | 申請（專利權）人： | 安徽微芯長江半導體材料有限公司 |
| 主分類號： | C01B32/956 | 分類號： | C01B32/956;C01B32/984 |
| 代理公司： | 銅陵市天成專利事務所(普通合伙) 34105 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 244000 安*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 提高 粒徑 碳化硅 粉料占 相合 成方 | ||
1.一種提高大粒徑碳化硅粉料占比的固相合成方法，其特征在于，包括以下步驟：
（1）選用純度不低于99.99%的硅粉和碳粉按照摩爾比1-1.04:1進行配料；
（2）在（1）所述的混合物中，添加重量比例為10%-30%的碳化硅細粉，然后進行充分混合；
（3）將（2）所述的混合物裝入固相合成爐的石墨坩堝中，并開始抽真空，使爐腔體真空度優于10-4 Pa；
（4）開始升溫至1400℃-1500℃，恒溫10小時-20小時；
（5）繼續升溫至2100℃-2200℃，通入保護氣體，使爐腔體壓力達到40 Torr-100 Torr，恒溫10小時-30小時；
（6）通入（5）所述的保護氣體，使爐腔體壓力達到700 Torr-750 Torr，待爐溫降至室溫。
2.根據權利要求1所述的一種提高大粒徑碳化硅粉料占比的固相合成方法，其特征在于，步驟（2）中，所述的碳化硅細粉，其粒徑為0-1 mm。
3.根據權利要求1所述的一種提高大粒徑碳化硅粉料占比的固相合成方法，其特征在于，步驟（2）中，所述的碳化硅細粉，其純度不低于99.99%。
4.根據權利要求1所述的一種提高大粒徑碳化硅粉料占比的固相合成方法，其特征在于，步驟（1）中，所述的硅粉為多晶硅粉，粒徑為1 μm-1000 μm。
5.根據權利要求1所述的一種提高大粒徑碳化硅粉料占比的固相合成方法，其特征在于，步驟（1）中，所述的碳粉為石墨粉，粒徑為1 μm-80 μm。
6.根據權利要求1所述的一種顆粒均勻的碳化硅粉料制備裝置與方法，其特征在于，步驟（3）中，所述的石墨坩堝采用純度不低于99.99%的石墨制成。
7.根據權利要求1所述的一種提高大粒徑碳化硅粉料占比的固相合成方法，其特征在于，步驟（5）中，所述的保護氣體為惰性氣體，如氦氣、氬氣，或者是摻有1-2 vol%氫氣的氦氣或氬氣的混合氣體。
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