[發明專利]一種晶圓激光low-k設備旋轉涂膠真空載臺

在審

• 申請號: 202210783912.5
• 申請日: 2022-07-05
• 公開（公告）號: CN115106262A
• 公開（公告）日: 2022-09-27
• 發明（設計）人: 閆興;陶為銀;鞏鐵建;蔡正道;喬賽賽;張偉;鮑占林
• 申請（專利權）人: 河南通用智能裝備有限公司
• 主分類號: B05C13/02
• 分類號: B05C13/02;B05C11/08
• 代理公司: 鄭州銀河專利代理有限公司 41158
• 代理人: 安申濤

1.一種晶圓激光low-k設備旋轉涂膠真空載臺，其特征在于：包括，

固定架，固定架沿豎直方向設置；

工作臺，工作臺設于固定架上方，且工作臺可水平方向做圓周運動，工作臺底部固定安裝有固定輸氣軸套（9）；

驅動機構，驅動機構設于固定架底部，驅動機構的輸出端通過真空轉接裝置（5）與固定輸氣軸套（9）傳動連接。

2.如權利要求1所述的一種晶圓激光low-k設備旋轉涂膠真空載臺，其特征在于：所述固定架包括兩個沿豎直方向設置的側板（1），兩個側板（1）的頂部固定安裝有升降臺活動板（3），兩個側板（1）的底部固定安裝有伺服電機安裝板（4）。

3.如權利要求2所述的一種晶圓激光low-k設備旋轉涂膠真空載臺，其特征在于：兩個所述側板（1）相對的一側還固定安裝有若干連接柱（2），若干連接柱（2）分別位于側板（1）的四角處。

4.如權利要求2所述的一種晶圓激光low-k設備旋轉涂膠真空載臺，其特征在于：所述驅動機構包括固定安裝在伺服電機安裝板（4）底部的伺服電機（13），伺服電機（13）的輸出端穿過伺服電機安裝板（4）固定連接有聯軸器（14），聯軸器（14）的頂部與真空轉接裝置（5）的底端固定連接。

5.如權利要求1所述的一種晶圓激光low-k設備旋轉涂膠真空載臺，其特征在于：所述真空轉接裝置（5）的頂端與固定輸氣軸套（9）的連接處設有軸內氣密墊（10），軸內氣密墊（10）設于固定輸氣軸套（9）內壁。

6.如權利要求1所述的一種晶圓激光low-k設備旋轉涂膠真空載臺，其特征在于：所述工作臺包括真空氣腔板（6）及設于真空氣腔板（6）頂部的旋轉臺吸盤（7）；

所述真空氣腔板（6）底部與固定輸氣軸套（9）固定連接且相互連通；

所述旋轉臺吸盤（7）外壁安裝有晶圓鋼圈（8），晶圓鋼圈（8）外周面設有多個均勻分布的卡爪（11）。

7.如權利要求1所述的一種晶圓激光low-k設備旋轉涂膠真空載臺，其特征在于：所述固定輸氣軸套（9）外壁固定安裝有旋轉感應片（12）。