[發明專利]一種半方晶棒切割系統在審
| 申請號: | 202210714491.0 | 申請日: | 2022-06-22 |
| 公開(公告)號: | CN115091637A | 公開(公告)日: | 2022-09-23 |
| 發明(設計)人: | 李正磊;劉旭;魏岳;李建男;劉珊麟 | 申請(專利權)人: | 大連連城數控機器股份有限公司 |
| 主分類號: | B28D5/04 | 分類號: | B28D5/04;B28D7/04;B28D7/00 |
| 代理公司: | 北京易捷勝知識產權代理事務所(普通合伙) 11613 | 代理人: | 薛曉萌 |
| 地址: | 116036 遼寧省大連市甘井子區營*** | 國省代碼: | 遼寧;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 半方晶棒 切割 系統 | ||
本發明涉及硅晶加工技術領域,尤其涉及一種半方晶棒切割系統。該一種半方晶棒切割系統,由于設置了上下料裝置、夾持裝置、金剛線切割裝置以及相對設置的兩個按壓裝置,進而實現了半方晶棒的自動化切割,提高了半片切割的效率。并且由于設置了按壓裝置,當金剛線切割裝置上的金剛線對第一工件進行切割后,按壓裝置壓緊并帶動切割后的兩個第二工件反向移動形成金剛線切割裝置中金剛線退回的行走空間,以便于金剛線切割裝置中金剛線的退回,避免了金剛線在退回過程中再次接觸工件,進而有效避免了金剛線的斷線。
技術領域
本發明涉及硅晶加工技術領域,尤其涉及一種半方晶棒切割系統。
背景技術
近年來隨著光伏行業突飛猛進地擴張,硅單晶的產能持續增加。制備硅單晶的常用方法包括直拉法、區熔法等方法,采用此類方法制備的單晶硅均成圓柱型的晶棒。
光伏太陽能電池用的硅片以往均為正方形,普遍先用開方機將圓形晶棒切成方形晶棒后再進一步切割形成正方形硅片。隨著太陽能電池板技術的發展,現開始使用半片即正方形硅片的一半,通過將經過開方機切割后的方形晶棒再沿軸線切成兩個半方晶棒后進行切片。而使用現有的金剛線切方機直接對方形晶棒切割時,切方機上的金剛線容易斷線,降低了切割效率且切割成本高。
因此,亟需一種半方晶棒切割系統以解決上述問題。
發明內容
(一)要解決的技術問題
鑒于現有技術的上述缺點、不足,本發明提供一種半方晶棒切割系統,能夠實現半方晶棒的自動化切割、提高了半片切割的效率且有效避免了金剛線的斷線。
(二)技術方案
為了達到上述目的,本發明采用的主要技術方案包括:
本發明實施例提供一種半方晶棒切割系統,包括上下料裝置、夾持裝置、金剛線切割裝置以及相對設置的兩個按壓裝置;上下料裝置用于放置工件,上下料裝置設置在按壓裝置的第一方向的一側;夾持裝置用于夾持工件并帶動工件移動至兩個按壓裝置的工作臺上;金剛線切割裝置設置在按壓裝置的第二方向的一側,用于切割待切割的第一工件,第一工件切割后形成兩個第二工件;按壓裝置用于壓緊并帶動切割后的兩個第二工件反向移動形成金剛線切割裝置中金剛線退回的行走空間。
優選地,按壓裝置包括支座、回轉壓緊機構、第一水平驅動機構、工作臺以及第二水平驅動機構;回轉壓緊機構設置于支座的頂端,第一水平驅動機構與回轉壓緊機構連接并驅動回轉壓緊機構沿第一方向直線運動;工作臺設置于支座的側壁近另一按壓裝置的一側,第二水平驅動機構與工作臺連接并驅動工作臺沿第一方向直線運動。
優選地,回轉壓緊機構包括活塞桿、壓板、密封套以及回轉升降氣缸;壓板設置于活塞桿的頂端,密封套套設在活塞桿的外側且與壓板的底端固定連接;活塞桿和密封套之間設置有導向套,導向套的底端與回轉升降氣缸的頂端固定連接,導向套的內壁與活塞桿的外壁貼合,導向套、活塞桿、密封套和壓板之間形成氣密封室,氣密封室用于與進氣接頭連通,當進氣接頭連通氣體后,氣體經過氣密封室后通過導向套和密封套之間的縫隙排出;第一水平驅動機構與回轉升降氣缸連接,以帶動回轉升降氣缸沿第一方向直線運動;回轉升降氣缸與活塞桿的底端連接且驅動活塞桿升降以及回轉運動。
優選地,第二水平驅動機構包括氣缸和伸縮桿;氣缸設置于支座的側壁且位于工作臺的下方,氣缸與伸縮桿連接且驅動伸縮桿帶動工作臺沿第一方向直線運動。
優選地,按壓裝置還包括橡膠條;橡膠條設置在壓板的底端一側以接觸工件。
優選地,夾持裝置包括機械手和機械手驅動機構,機械手用于夾持工件;機械手驅動機構包括機械手升降組件和機械手水平移動組件,機械手升降組件與機械手連接以帶動機械手升降運動,機械手水平移動組件與機械手升降組件連接,以帶動機械手沿第一方向水平移動。
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