[發明專利]色散薄膜、光纖插芯、色散腔鏡、諧振腔裝置及激光器

有效

• 申請號: 202210707056.5
• 申請日: 2022-06-21
• 公開（公告）號: CN115097556B
• 公開（公告）日: 2023-06-23
• 發明（設計）人: 程輝輝;陳可封
• 申請（專利權）人: 廈門大學
• 主分類號: G02B5/00
• 分類號: G02B5/00;G02B6/26;H01S3/067
• 代理公司: 北京庚致知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11807
• 代理人: 韓德凱

1.一種色散薄膜，其特征在于，包括：

多個第一膜層，所述第一膜層具有第一折射率；以及

多個第二膜層，所述第二膜層具有第二折射率；

所述第一膜層與所述第二膜層交替地堆疊，以形成所述色散薄膜；

其中，所述第一折射率大于所述第二折射率；

所述色散薄膜的總厚度為微米級；

所述第一膜層的總厚度小于所述第二膜層的總厚度；

其中，奇數層為第一膜層，偶數層為第二膜層，且所述色散薄膜的底層和頂層均為第一膜層；

所述色散薄膜的總厚度為7.803μm至8.292μm；

所述第一膜層為Ta₂O₅、Nb₂O₅、HfO₂中的一種，所述第二膜層為SiO₂；

所述第一膜層和所述第二膜層的總層數為45層；

由底層至頂層，各個膜層分別對應的膜層厚度為：

132-141nm、244-252nm、141-152nm、194-201nm、136-155nm、203-212nm、145-173nm、210-220nm、138-148nm、197-207nm、130-140nm、192-202nm、129-136nm、173-202nm、134-144nm、205-207nm、140-163nm、204-216nm、132-144nm、220-228nm、169-179nm、217-227nm、141-158nm、202-204nm、127-138nm、197-207nm、139-142nm、204-208nm、135-145nm、200-210nm、135-145nm、211-212nm、153-167nm、235-245nm、137-144nm、188-201nm、136-156nm、202-212nm、147-163nm、223-229nm、144-154nm、196-206nm、131-141nm、275-285nm、160-171nm；

所述色散薄膜對泵浦光波長973-980nm透過率T80％。

2.根據權利要求1所述的色散薄膜，其特征在于，所述色散薄膜通過作為底層的所述第一膜層設置在光纖插芯的端面上。

3.根據權利要求1所述的色散薄膜，其特征在于，所述第一膜層與所述第二膜層的形狀均為圓片形狀，且所述第一膜層的徑向尺寸與所述第二膜層的徑向尺寸相同。

4.根據權利要求1所述的色散薄膜，其特征在于，基于等離子體濺射的方法實現多個所述第一膜層與多個所述第二膜層的交替堆疊。

5.一種光纖插芯，其特征在于，包括：

光纖插芯本體，所述光纖插芯本體具有第一端和第二端，所述第一端形成端面，所述第二端用于插入光纖；以及

權利要求1至4中任一項所述的色散薄膜，所述色散薄膜設置在所述光纖插芯本體的所述端面上。

6.根據權利要求5所述的光纖插芯，其特征在于，所述光纖插芯本體的所述端面與所述色散薄膜具有匹配的形狀。

7.根據權利要求5所述的光纖插芯，其特征在于，所述端面為經過研磨拋光處理的端面。

8.一種具有全光纖化結構的色散腔鏡，其特征在于，包括：

權利要求5至7中任一項所述的光纖插芯；以及

無源光纖，所述無源光纖通過所述光纖插芯本體的所述第二端插入所述光纖插芯本體。