[發(fā)明專利]一種固晶工藝

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210684149.0
• 申請日: 2022-06-17
• 公開（公告）號: CN115172572A
• 公開（公告）日: 2022-10-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 徐煦;饒志華;黃蘇藝
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇宇星恒電子有限公司
• 主分類號: H01L33/56
• 分類號: H01L33/56;H01L33/48;H01L33/62;B24B7/16;B24B27/00;B24B47/00;B24B47/12
• 代理公司: 上海今達專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31373
• 代理人: 張云

1.一種固晶工藝，其特征在于，其使用了微桿打磨機，微桿打磨機包括打磨盒(2)，打磨盒(2)內(nèi)等間距設(shè)置可轉(zhuǎn)動的打磨細桿(3)，打磨細桿(3)沿豎直方向延伸，打磨細桿(3)的頂端設(shè)置有與其同軸的固定輪(4)，打磨盒(2)內(nèi)還設(shè)置由電機傳動的同步帶(5)，固定輪(4)的外圓周面與同步帶(5)的輸送面摩擦配合，固晶工藝包括以下步驟，S1，對支架進行清洗預(yù)熱；S2，在支架的功能區(qū)進行第一次注膠以形成第一注膠體，使第一注膠體凝固；S3，啟動電機，同步帶(5)帶動固定輪(4)和打磨細桿(3)轉(zhuǎn)動，旋轉(zhuǎn)的打磨細桿(3)對第一注膠體的頂端進行打磨；S4，引導(dǎo)一根金線的兩端分別連接第一注膠體和支架的功能區(qū)；S5，在所述功能區(qū)進行第二次注膠并使其覆蓋第一注膠體以形成第二注膠體；S6，將芯片放置在第二注膠體后進行烘烤，使第二注膠體凝固。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種固晶工藝，其特征在于，S4中，采用超聲波金線焊接技術(shù)焊接一根金線用以連接第一注膠體和支架的功能區(qū)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種固晶工藝，其特征在于，金線長度為芯片長邊的1-1.5倍。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種固晶工藝，其特征在于，第二注膠體覆蓋金線長度的1/2-2/3。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種固晶工藝，其特征在于，金線至少其1/3的長度露出第二注膠體。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種固晶工藝，其特征在于，打磨機還包括軸承(6)和固定圈(7)，固定輪(4)轉(zhuǎn)動設(shè)置在打磨盒(2)內(nèi)，軸承(6)等間距設(shè)置在打磨盒(2)的底端，軸承(6)的輸出軸沿豎直方向延伸，固定圈(7)同軸固定設(shè)置在軸承(6)的內(nèi)圈，打磨細桿(3)上設(shè)置有與軸承(6)同軸滑動配合的第一花鍵段(3a)，且第一花鍵段(3a)的上下端均設(shè)置有第一限位環(huán)(3a1)，固定輪(4)的內(nèi)圓周設(shè)置有與其同軸的筒狀腔(4a)，打磨細桿(3)的頂端還設(shè)置有貫穿固定輪(4)并與其嵌合滑動的第二花鍵段(3b)，第二花鍵段(3b)上設(shè)置有位于4b0內(nèi)的第二限位環(huán)(3b1)，打磨細桿(3)上還套設(shè)有彈簧(3c)，彈簧(3c)的兩端分別抵接在第二限位環(huán)(3b1)的頂端和筒狀腔(4a)的頂端。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種固晶工藝，其特征在于，打磨機還包括剪叉式伸縮架和調(diào)節(jié)器，剪叉式伸縮架和調(diào)節(jié)器設(shè)置在打磨盒(2)內(nèi)，剪叉式伸縮架包括位于打磨盒(2)底部中間位置的固定點以及分布在固定點兩側(cè)的鉸接點，打磨細桿(3)豎直穿過固定點和鉸接點并與其轉(zhuǎn)動配合，固定輪(4)轉(zhuǎn)動設(shè)置在固定點以及鉸接點上，調(diào)節(jié)器包括與夾持式伸縮架的兩側(cè)鉸接的執(zhí)行部，兩個執(zhí)行部相向移動時，相鄰鉸接點等間靠近固定點。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種固晶工藝，其特征在于，剪叉式伸縮架包括第一連桿(8a)、第二連桿(8b)、第三連桿(8c)和第四連桿(8d)，第一連桿(8a)和第二連桿(8b)的中間位置轉(zhuǎn)動連接以形成剪叉結(jié)構(gòu)，打磨細桿(3)設(shè)置在轉(zhuǎn)動部位，第三連桿(8c)和第四連桿(8d)的一端與調(diào)節(jié)器的執(zhí)行部鉸接，第三連桿(8c)和第四連桿(8d)的另一端分別與第一連桿(8a)和第二連桿(8b)的同一側(cè)轉(zhuǎn)動連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種固晶工藝，其特征在于，調(diào)節(jié)器包括第一滑動板(9a)、第二滑動板(9b)和雙向絲桿(9c)，第一滑動板(9a)和雙向絲桿(9c)沿剪叉式伸縮架的伸縮方向滑動設(shè)置在打磨盒(2)內(nèi)，雙向絲桿(9c)轉(zhuǎn)動設(shè)置在打磨盒(2)內(nèi)，且第一滑動板(9a)和雙向絲桿(9c)上均設(shè)置有與雙向絲桿(9c)上的兩段螺紋嚙合的內(nèi)螺紋固定耳，第三連桿(8c)和第四連桿(8d)的相連處于第二滑動板(9b)和雙向絲桿(9c)的相對側(cè)轉(zhuǎn)動連接。

10.一種微桿打磨機，其特征在于，包括打磨盒(2)，打磨盒(2)內(nèi)等間距設(shè)置可轉(zhuǎn)動的打磨細桿(3)，打磨細桿(3)沿豎直方向延伸，打磨細桿(3)的頂端設(shè)置有與其同軸的固定輪(4)，打磨盒(2)內(nèi)還設(shè)置由電機傳動的同步帶(5)，固定輪(4)的外圓周面與同步帶(5)的輸送面摩擦配合。