[發明專利]振動器件

在審

• 申請號: 202210596852.6
• 申請日: 2022-05-30
• 公開（公告）號: CN115483886A
• 公開（公告）日: 2022-12-16
• 發明（設計）人: 西澤龍太;竹內淳一
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H03B5/04
• 分類號: H03B5/04;H03B5/36
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 方冬梅;鄧毅

1.一種振動器件，其特征在于，該振動器件具有：

振動元件；

基座，其具有處于正反關系的第一面和第二面，所述振動元件配置在該基座的所述第一面側；

集成電路，其配置于所述基座；

蓋，其具有與所述振動元件對置的內表面和與所述內表面處于正反關系的外表面，所述蓋以收納所述振動元件的方式與所述基座接合；以及

放射層，其配置于所述蓋的所述內表面，具有比所述蓋的放射率高的放射率。

2.根據權利要求1所述的振動器件，其中，

所述基座和所述蓋分別是硅基板。

3.根據權利要求2所述的振動器件，其中，

所述放射層的常溫下的放射率為0.5以上。

4.根據權利要求1至3中的任一項所述的振動器件，其中，

所述放射層的構成材料至少包含氧化銅、氧化鈦、氧化硅、氮化硅、玻璃材料、氮化鋁、氧化鎳、鉑黑中的任一種。

5.根據權利要求1至3中的任一項所述的振動器件，其中，

所述蓋具有以所述內表面為底面而收納所述振動元件的收納凹部，

所述放射層還配置于所述收納凹部的側面。

6.根據權利要求1至3中的任一項所述的振動器件，其中，

所述放射層還配置于所述蓋的所述外表面。

7.根據權利要求1至3中的任一項所述的振動器件，其中，

所述集成電路配置在所述基座的所述第一面側。

8.根據權利要求1至3中的任一項所述的振動器件，其中，

所述蓋具有在所述外表面開口的凹部。

9.根據權利要求8所述的振動器件，其中，

所述凹部具有沿著第一方向延伸的直線狀的第一凹部。

10.根據權利要求9所述的振動器件，其中，

所述凹部具有沿著與所述第一方向不同的第二方向延伸且與所述第一凹部交叉的直線狀的第二凹部。