[發明專利]基于太赫茲的多層膜厚測量方法及可讀存儲介質

在審

• 申請號: 202210566605.1
• 申請日: 2022-05-23
• 公開（公告）號: CN114964014A
• 公開（公告）日: 2022-08-30
• 發明（設計）人: 張逸竹;曲秋紅;何明霞
• 申請（專利權）人: 天津大學四川創新研究院;萊儀特太赫茲（天津）科技有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 北京天下創新知識產權代理事務所(普通合伙) 16044
• 代理人: 任崇

1.一種基于太赫茲的多層膜厚測量方法，其特征在于，包括：

獲取數據的時域信號；

調整窗濾波器的窗范圍，得到最優窗濾波器；

利用最優窗濾波器對數據的時域信號進行窗濾波，得到濾波后的時域信號；

對濾波后的時域信號進行傅里葉變換，得到數據的頻譜信號；

判斷最優窗濾波器是否移動到時域信號結束位置；

若否，則最優窗濾波器移動到下一個駐點位置，返回利用最優窗濾波器對數據的時域信號進行窗濾波，得到濾波后的時域信號的步驟；

若是，則生成數據的頻譜信號集合；

根據數據的頻譜信號集合生成頻譜集合強度圖；

根據頻譜集合強度圖，得到目標層頻域間隔；

根據目標層頻域間隔計算目標層厚度值；

刪除濾波后的時域信號中的首個脈沖，得到數據的時域信號；

重復以上步驟，直到獲得預設個數的目標層厚度值，輸出預設個數的目標層厚度值。

2.根據權利要求1所述的基于太赫茲的多層膜厚測量方法，其特征在于，獲取數據的時域信號的步驟之前，還包括：

設置目標層厚度值的個數為N＝0；

所述根據目標層頻域間隔計算目標層厚度值的步驟之后，還包括：

目標層厚度值的個數為N＝N+1；

判斷當前N是否為預設目標層厚度值的個數；

若是，則執行輸出預設個數的目標層厚度值的步驟；

若否，則執行刪除濾波后的時域信號中的首個脈沖，得到數據的時域信號的步驟。

3.根據權利要求1所述的基于太赫茲的多層膜厚測量方法，其特征在于，所述調整窗濾波器的窗范圍，得到最優窗濾波器的步驟，包括：

獲取數據的時域信號的前兩個波峰或波谷范圍；

根據前兩個波峰或波谷范圍調整窗濾波器的窗范圍，使得窗范圍覆蓋數據的時域信號的前兩個波峰，得到最優窗濾波器。

4.根據權利要求1所述的基于太赫茲的多層膜厚測量方法，其特征在于，所述頻譜集合強度圖的橫坐標為頻譜坐標，縱坐標為窗濾波器位置。

5.根據權利要求4所述的基于太赫茲的多層膜厚測量方法，其特征在于，所述根據頻譜集合強度圖，得到目標層頻域間隔的步驟，包括：

從下至上遍歷頻譜集合強度圖中的不同窗濾波器位置，計算不同窗濾波器位置的頻域間隔，直到得到目標層頻域間隔。

6.根據權利要求5所述的基于太赫茲的多層膜厚測量方法，其特征在于，所述從下至上遍歷頻譜集合強度圖中的不同窗濾波器位置，計算不同窗濾波器位置的頻域間隔，直到得到目標層頻域間隔的步驟，包括：

從未參與計算的Y軸最小值開始，根據頻譜集合強度圖，計算當前窗濾波器位置的頻域間隔；

判斷當前窗濾波器位置是否存在頻域間隔；

若否，則返回從未參與計算的Y軸最小值開始，根據頻譜集合強度圖，計算當前窗濾波器位置的頻域間隔的步驟；

若是，則當前窗濾波器位置的頻域間隔即為目標層頻域間隔。

7.根據權利要求6所述的基于太赫茲的多層膜厚測量方法，其特征在于，所述根據頻譜集合強度圖，計算當前窗濾波器位置的頻域間隔的步驟，包括：

基于頻譜集合強度圖，得到當前窗濾波器位置對應的頻域信號；

根據當前窗濾波器位置對應的頻域信號，計算當前窗濾波器位置對應的頻域間隔。

8.根據權利要求7所述的基于太赫茲的多層膜厚測量方法，其特征在于，所述根據當前窗濾波器位置對應的頻域信號，計算當前窗濾波器位置對應的頻域間隔的步驟，包括：

根據當前窗濾波器位置對應的頻域信號，確定頻域信號中的波峰或波谷；

根據頻域信號中相鄰波峰或波谷之間的間隔，得到當前窗濾波器位置對應的頻域間隔。