[發(fā)明專(zhuān)利]在粒子束顯微鏡中定位物體的方法和計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210527177.1
• 申請(qǐng)日: 2022-05-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN115372394A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-11-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: J.比伯格;M.波斯托爾斯基;M.T.凱弗;H.埃姆
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 卡爾蔡司顯微鏡有限責(zé)任公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01N23/2204
• 分類(lèi)號(hào): G01N23/2204;G01N23/2251;G01N23/2255
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 王蕊瑞

1.一種用于在粒子束顯微鏡的樣品室中定位可移動(dòng)物體的方法，其中，該方法是使用粒子束顯微鏡執(zhí)行的，該粒子束顯微鏡包括用于產(chǎn)生帶電粒子束的粒子束柱、以及樣品室、用于檢測(cè)相互作用信號(hào)的檢測(cè)器以及控制與評(píng)估單元；

該方法包括以下步驟：

a)在該樣品室(S1，S40)中提供可移動(dòng)物體(32，70，95)；

b)定義屏障區(qū)域(S2，S43)；

c)使用該帶電粒子束掃描該屏障區(qū)域(S3，S44)；

d)使用該檢測(cè)器檢測(cè)相互作用信號(hào)(S5，S45)；

e)沿該屏障區(qū)域的方向移動(dòng)該物體(S5，S46)；

f)監(jiān)視所檢測(cè)到的相互作用信號(hào)并登記信號(hào)變化(S5，S46)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，該信號(hào)變化的登記引起該物體的移動(dòng)停止。

3.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其中，重復(fù)步驟b)至f)中的至少一個(gè)步驟。

4.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的方法，其中，使用多個(gè)檢測(cè)器(30，54，90)來(lái)檢測(cè)信號(hào)(20，20')。

5.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的方法，其中，在期望的時(shí)間記錄可視化圖像。

6.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的方法，其中，使用至少兩個(gè)屏障區(qū)域(33，36，37)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中，第一屏障區(qū)域(33)被定義為使得該物體在第一移動(dòng)方向(38)上的移動(dòng)是可檢測(cè)的，而該第二屏障區(qū)域(37)被定義為使得該物體在第二移動(dòng)方向(39)上的移動(dòng)是可檢測(cè)的。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中，該第一和第二移動(dòng)方向(38，39)彼此正交地排列。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中，該至少兩個(gè)屏障區(qū)域(72)被定義為使得在三維空間中指定路徑(74)并且該可移動(dòng)物體在空間中沿著所述路徑(74)移動(dòng)。

10.根據(jù)權(quán)利要求6至9中之一所述的方法，其中，同時(shí)監(jiān)視在該多個(gè)屏障區(qū)域(33，36，37)中可檢測(cè)到的信號(hào)。

11.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的方法，

其中，監(jiān)視該可移動(dòng)物體在三維空間中的位置，并且該粒子束顯微鏡包括用于產(chǎn)生第一粒子束的第一粒子束柱(81)和用于產(chǎn)生第二粒子束的第二粒子束柱(101)，其中，這些粒子束柱的光軸彼此成非零角度布置，并且其中，該第一粒子束和/或該第二粒子束用于掃描屏障區(qū)域。

12.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的方法，其中，屏障區(qū)域包括多個(gè)彼此間隔布置的部分區(qū)域，

并且該兩個(gè)部分區(qū)域的信號(hào)被一起評(píng)估。

13.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的方法，其中，使用彼此間隔的多個(gè)屏障區(qū)域，

并且屏障區(qū)域的信號(hào)被彼此單獨(dú)地評(píng)估。

14.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的方法，其中，該可移動(dòng)物體是TEM薄片(32)的形式。

15.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的方法，其中，該可移動(dòng)物體是電子束光刻樣品(61)的形式。

16.一種計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，該計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品包括使粒子束系統(tǒng)(80)執(zhí)行根據(jù)權(quán)利要求1至15之一所述的方法的控制命令序列。