[發明專利]一種基于介質-金屬混合體系的BICs超構表面結構傳感器在審
| 申請號： | 202210525167.4 | 申請日： | 2022-05-15 |
| 公開（公告）號： | CN115061224A | 公開（公告）日： | 2022-09-16 |
| 發明（設計）人： | 周一;吳翔 | 申請（專利權）人： | 復旦大學 |
| 主分類號： | G02B1/00 | 分類號： | G02B1/00 |
| 代理公司： | 上海正旦專利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陸飛;陸尤 |
| 地址： | 200433 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 介質 金屬 混合 體系 bics 表面 結構 傳感器 | ||
1.一種基于介質-金屬混合體系的BICs超構表面結構傳感器，其特征在于，是由四個不同大小的柱體二、二排列作為晶胞，經二維平面延拓組成的陣列；
所述柱體的高度一致，記為H，四個柱體橫截面為同為正方形或圓形；相鄰兩柱體中心間距為P；所述晶胞陣列的周期為2P；記第一柱體的寬度為w1，第二柱體的寬度為w2，第三柱體的寬度為w3，第四柱體寬度為w4，滿足：w1 = w3，w2=w4，且w1≠ w2，通過設計四個柱體的寬度，實現結構面內的對稱破缺，從而產生quasi-BICs模式的激發；記Δw = w1 - w2；這里，柱體寬度，對于方柱體而言，是指柱體橫截面邊長，對于圓柱體而言，是指柱體橫截面直徑；所述陣列結構下面是金屬膜，作為反射層，其厚度為T；金屬膜下面是襯底，作為整體結構的支撐層。
2.根據權利要求1所述的BICs超構表面結構傳感器，其特征在于，所述晶胞的材料為氮化硅或者二氧化鈦介質材料；折射率為1.8-2.5。
3.根據權利要求1所述的BICs超構表面結構傳感器，其特征在于，所述柱體高度H為50-400nm，柱體寬度為150-350nm。
4.根據權利要求1所述的BICs超構表面結構傳感器，其特征在于，所述相鄰柱體中心間距P為400nm；晶胞的周期2P為800nm。
5.根據權利要求1所述的BICs超構表面結構傳感器，其特征在于，所述金屬膜材料為金，金膜厚度T為50-200nm。
6.根據權利要求1所述的BICs超構表面結構傳感器，其特征在于，所述襯底材料為硅、石英或者玻璃。
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