[發(fā)明專利]顯示面板和顯示面板的制作方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210514974.6
• 申請(qǐng)日: 2022-05-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114883372A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-08-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 謝超雄
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L27/32
• 分類(lèi)號(hào): H01L27/32;H01L23/544
• 代理公司: 深圳紫藤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44570
• 代理人: 黃舒悅

本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種顯示面板和顯示面板的制作方法，其中，顯示面板包括顯示區(qū)和圍繞顯示區(qū)設(shè)置的非顯示區(qū)，顯示面板包括：基板；多個(gè)標(biāo)記結(jié)構(gòu)設(shè)置在非顯示區(qū)，標(biāo)記結(jié)構(gòu)包括遮光層和氧化銦鎵鋅層，遮光層設(shè)置在基板上，遮光層設(shè)置有鏤空結(jié)構(gòu)；氧化銦鎵鋅層具有導(dǎo)電性，氧化銦鎵鋅層包括連接的第一部分和第二部分，第一部分設(shè)置在遮光層遠(yuǎn)離基板的一側(cè)，第二部分對(duì)應(yīng)鏤空結(jié)構(gòu)設(shè)置，且第二部分至少部分設(shè)置在鏤空結(jié)構(gòu)內(nèi)，第二部分遠(yuǎn)離基板的表面低于第一部分遠(yuǎn)離基板的表面。通過(guò)在遮光層上單獨(dú)制作鏤空結(jié)構(gòu)，在氧化銦鎵鋅層上單獨(dú)制作第二部分，相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，既可以滿足顯示面板根據(jù)標(biāo)記結(jié)構(gòu)進(jìn)行對(duì)位，又不影響陽(yáng)極與ITO同時(shí)成膜的制程。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及顯示領(lǐng)域，特別涉及一種顯示面板和顯示面板的制作方法。

背景技術(shù)

在大尺寸面板顯示行業(yè)，ATS作為Array基板良率評(píng)價(jià)最關(guān)鍵的設(shè)備，ATS設(shè)備檢測(cè)的好壞至關(guān)重要。該設(shè)備主要利用二次電子對(duì)面板表面電勢(shì)的偵測(cè)，從而判斷面板是否有異常。檢測(cè)的大致流程如下：一次對(duì)位、二次對(duì)位、面板加電驅(qū)動(dòng)和二次電子偵測(cè)。其中，二次對(duì)位需要使用特殊的標(biāo)記(mark)設(shè)計(jì)，利用二次電子成像進(jìn)行精確的坐標(biāo)定位。

然而，對(duì)于頂發(fā)射大尺寸OLED制程，由于需要制作陽(yáng)極，而ITO制程與陽(yáng)極同時(shí)進(jìn)行成膜制作，所以無(wú)法實(shí)現(xiàn)ITO膜層圖形的單獨(dú)制作，從而導(dǎo)致L Mark成像效果差，無(wú)法正常進(jìn)行對(duì)位。

發(fā)明內(nèi)容

本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種顯示面板和顯示面板的制作方法，可以解決顯示面板中LMark成像效果差的問(wèn)題。

本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種顯示面板，所述顯示面板包括顯示區(qū)和圍繞所述顯示區(qū)設(shè)置的非顯示區(qū)，所述顯示面板包括：

基板；

多個(gè)標(biāo)記結(jié)構(gòu)，所述多個(gè)標(biāo)記結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述非顯示區(qū)，所述標(biāo)記結(jié)構(gòu)包括遮光層和氧化銦鎵鋅層，所述遮光層設(shè)置在所述基板上，所述遮光層設(shè)置有鏤空結(jié)構(gòu)；所述氧化銦鎵鋅層具有導(dǎo)電性，所述氧化銦鎵鋅層包括連接的第一部分和第二部分，所述第一部分設(shè)置在所述遮光層遠(yuǎn)離所述基板的一側(cè)，所述第二部分對(duì)應(yīng)所述鏤空結(jié)構(gòu)設(shè)置，且所述第二部分至少部分設(shè)置在所述鏤空結(jié)構(gòu)內(nèi)，所述第二部分遠(yuǎn)離所述基板的表面低于所述第一部分遠(yuǎn)離所述基板的表面。

可選的，所述第一部分的厚度小于所述遮光層的厚度。

可選的，所述第二部分的厚度小于或等于所述第一部分的厚度。

可選的，所述顯示面板包括源漏極和陽(yáng)極，所述源漏極設(shè)置在所述氧化銦鎵鋅層遠(yuǎn)離所述基板的一側(cè)，所述陽(yáng)極設(shè)置在所述源漏極遠(yuǎn)離所述基板的一側(cè)。

可選的，所述鏤空結(jié)構(gòu)的形狀為L(zhǎng)形。

可選的，所述鏤空結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述遮光層的中心位置。

可選的，所述氧化銦鎵鋅層的第一部分的厚度小于50nm，所述遮光層的厚度大于50nm。

本申請(qǐng)實(shí)施例還提供一種顯示面板的制作方法，用于制作顯示面板，所述顯示面板包括顯示區(qū)和圍繞所述顯示區(qū)設(shè)置的非顯示區(qū)，所述制作方法包括：

提供一基板；

在位于所述非顯示區(qū)的所述基板上設(shè)置遮光層，所述遮光層上設(shè)置有鏤空區(qū)域；

在所述遮光層遠(yuǎn)離所述基板的一側(cè)設(shè)置氧化銦鎵鋅材料，部分所述氧化銦鎵鋅材料凹陷于所述鏤空區(qū)域內(nèi)，以使所述氧化銦鎵鋅材料對(duì)應(yīng)所述鏤空區(qū)域形成凹槽；

固化所述氧化銦鎵鋅材料形成氧化銦鎵鋅層；

對(duì)所述氧化銦鎵鋅層進(jìn)行等離子體處理，以使所述氧化銦鎵鋅層導(dǎo)體化。

可選的，所述制作方法還包括：

在所述氧化銦鎵鋅層遠(yuǎn)離所述基板的一側(cè)設(shè)置源漏極；