[發明專利]顯示面板和顯示面板的制作方法

在審

• 申請號: 202210514974.6
• 申請日: 2022-05-11
• 公開（公告）號: CN114883372A
• 公開（公告）日: 2022-08-09
• 發明（設計）人: 謝超雄
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: H01L27/32
• 分類號: H01L27/32;H01L23/544
• 代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570
• 代理人: 黃舒悅

1.一種顯示面板，所述顯示面板包括顯示區和圍繞所述顯示區設置的非顯示區，其特征在于，所述顯示面板包括：

基板；

多個標記結構，所述多個標記結構設置在所述非顯示區，所述標記結構包括遮光層和氧化銦鎵鋅層，所述遮光層設置在所述基板上，所述遮光層設置有鏤空結構；所述氧化銦鎵鋅層具有導電性，所述氧化銦鎵鋅層包括連接的第一部分和第二部分，所述第一部分設置在所述遮光層遠離所述基板的一側，所述第二部分對應所述鏤空結構設置，且所述第二部分至少部分設置在所述鏤空結構內，所述第二部分遠離所述基板的表面低于所述第一部分遠離所述基板的表面。

2.根據權利要求1所述的顯示面板，其特征在于，所述第一部分的厚度小于所述遮光層的厚度。

3.根據權利要求1所述的顯示面板，其特征在于，所述第二部分的厚度小于或等于所述第一部分的厚度。

4.根據權利要求1-3任一項所述的顯示面板，其特征在于，所述顯示面板包括源漏極和陽極，所述源漏極設置在所述氧化銦鎵鋅層遠離所述基板的一側，所述陽極設置在所述源漏極遠離所述基板的一側。

5.根據權利要求1-3任一項所述的顯示面板，其特征在于，所述鏤空結構的形狀為L形。

6.根據權利要求1-3任一項所述的顯示面板，其特征在于，所述鏤空結構設置在所述遮光層的中心位置。

7.根據權利要求1-3任一項所述的顯示面板，其特征在于，所述氧化銦鎵鋅層的第一部分的厚度小于50nm，所述遮光層的厚度大于50nm。

8.一種顯示面板的制作方法，用于制作顯示面板，所述顯示面板包括顯示區和圍繞所述顯示區設置的非顯示區，其特征在于，所述制作方法包括：

提供一基板；

在位于所述非顯示區的所述基板上設置遮光層，所述遮光層上設置有鏤空區域；

在所述遮光層遠離所述基板的一側設置氧化銦鎵鋅材料，部分所述氧化銦鎵鋅材料凹陷于所述鏤空區域內，以使所述氧化銦鎵鋅材料對應所述鏤空區域形成凹槽；

固化所述氧化銦鎵鋅材料形成氧化銦鎵鋅層；

對所述氧化銦鎵鋅層進行等離子體處理，以使所述氧化銦鎵鋅層導體化。

9.根據權利要求8所述的制作方法，其特征在于，所述制作方法還包括：

在所述氧化銦鎵鋅層遠離所述基板的一側設置源漏極；

在所述源漏極遠離所述基板的一側設置陽極。

10.根據權利要求8所述的制作方法，其特征在于，所述氧化銦鎵鋅層的厚度小于所述遮光層的厚度。