[發明專利]一種用于顯示制程蝕刻廢液的回收系統及方法在審
| 申請號： | 202210502816.9 | 申請日： | 2022-05-10 |
| 公開（公告）號： | CN114657376A | 公開（公告）日： | 2022-06-24 |
| 發明（設計）人： | 邵振;陳飛榮 | 申請（專利權）人： | 江蘇和達電子科技有限公司 |
| 主分類號： | C22B3/44 | 分類號： | C22B3/44;C23F1/46 |
| 代理公司： | 上海新泊利知識產權代理事務所(普通合伙) 31435 | 代理人： | 朱曉敏 |
| 地址： | 212212 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 顯示 蝕刻 廢液 回收 系統 方法 | ||
1.一種用于顯示制程蝕刻廢液的回收系統，其特征在于：包括依次連接的反應槽（1）、螺旋回流槽（3），所述反應槽（1）內含有蝕刻廢液以及與蝕刻廢液反應的陽離子無機添加劑。
2.根據權利要求1所述的一種用于顯示制程蝕刻廢液的回收系統，其特征在于：還包括與螺旋回流槽（3）連接的過濾系統（4）。
3.一種用于顯示制程蝕刻廢液的回收方法，其特征在于：包括以下步驟：
步驟1：將蝕刻廢液輸送入反應槽（1），并向反應槽（1）中投入陽離子無機添加劑，對蝕刻廢液處理；
步驟2：將步驟1中的蝕刻廢液輸送入螺旋回流槽（3），進行沉降分離，得到產成品。
4.根據權利要求3所述的一種用于顯示制程蝕刻廢液的回收方法，其特征在于：將步驟2中螺旋回流槽（3）中的沉降物通過過濾系統（4），進行過濾，得到產成品。
5.根據權利要求3所述的一種用于顯示制程蝕刻廢液的回收方法，其特征在于：所述陽離子無機添加劑選自單陽離子無機添加劑、多陽離子無機添加劑中的一種或者更多種的組合。
6.根據權利要求5所述的一種用于顯示制程蝕刻廢液的回收方法，其特征在于：所述單陽離子無機添加劑選自聚硅酸類無機添加劑、聚磷酸類無機添加劑中的一種或者更多種的組合。
7.根據權利要求5所述的一種用于顯示制程蝕刻廢液的回收方法，其特征在于：所述多陽離子無機添加劑為聚合硫酸氯化鐵鋁。
8.根據權利要求6所述的一種用于顯示制程蝕刻廢液的回收方法，其特征在于：所述聚硅酸類無機添加劑選自聚硅酸、聚硅酸硫酸鐵、聚硅酸鐵、聚合聚鐵硅中的一種或者更多種的混合。
9.根據權利要求6所述的一種用于顯示制程蝕刻廢液的回收方法，其特征在于：所述聚磷酸類無機添加劑選自聚磷氯化鐵、聚磷氯化鋁中的一種或更多種的混合。
10.根據權利要求3所述的一種用于顯示制程蝕刻廢液的回收方法，其特征在于：所述陽離子無機添加劑占蝕刻廢液百分比質量為1%-6%。
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