[發(fā)明專利]一種用于白光干涉儀的多功能新型檢測平臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210434405.0
• 申請日: 2022-04-24
• 公開（公告）號: CN114778085B
• 公開（公告）日: 2023-01-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉路通
• 申請（專利權(quán)）人: 新啟航半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: G01M11/04
• 分類號: G01M11/04;G01D3/08;F16F15/067;G01B9/02
• 代理公司: 中山華文專利代理事務(wù)所(普通合伙) 44737
• 代理人: 鮑璐璐;曹聰聰

1.一種用于白光干涉儀的多功能新型檢測平臺，其特征在于：包括有用于放置干涉儀本體(1)的儀器固定臺(2)和用于放置計算機(3)的電腦固定臺(4)，所述儀器固定臺(2)與電腦固定臺(4)的一側(cè)活動連接，在所述儀器固定臺(2)內(nèi)設(shè)有具有緩震結(jié)構(gòu)的緩震底座(5)以及驅(qū)動所述緩震底座(5)上下升降的升降機構(gòu)，干涉儀本體(1)安裝在所述緩震底座(5)上，在所述儀器固定臺(2)的端面貫通設(shè)有開口(6)，所述升降機構(gòu)能驅(qū)動干涉儀本體(1)上下升降從而伸出開口(6)外或縮入開口(6)內(nèi)，在所述開口(6)的左右兩側(cè)均鉸接有能敞開或封閉開口(6)的蓋板組件(7)，所述蓋板組件(7)包括有轉(zhuǎn)軸(8)、主蓋板(9)以及伸縮蓋板(10)，所述轉(zhuǎn)軸(8)的兩端轉(zhuǎn)動安裝在開口(6)的兩側(cè)，且在所述轉(zhuǎn)軸(8)的外壁沿其軸向方向設(shè)有第一通槽(11)，所述主蓋板(9)活動穿設(shè)在第一通槽(11)內(nèi)，在所述主蓋板(9)的端部貫通設(shè)有第二通槽(12)，所述伸縮蓋板(10)活動穿設(shè)在第二通槽(12)內(nèi)，在所述儀器固定臺(2)上還設(shè)有狀態(tài)選擇機構(gòu)，所述狀態(tài)選擇機構(gòu)能夠使主蓋板(9)與伸縮蓋板(10)保持豎直狀態(tài)設(shè)置在儀器固定臺(2)的上方，或使主蓋板(9)與伸縮蓋板(10)保持豎直狀態(tài)縮入儀器固定臺(2)內(nèi)，在干涉儀本體(1)上安裝有開板組件，所述開板組件能夠通過干涉儀本體(1)的上升從而將所述蓋板組件(7)進行開啟。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于白光干涉儀的多功能新型檢測平臺，其特征在于：在所述伸縮蓋板(10)上還設(shè)有離合組件，所述離合組件能夠與傳動組件連接或脫離，當(dāng)所述離合組件與傳動組件連接時，干涉儀本體(1)上升過程中能夠同時帶動伸縮蓋板(10)上升，當(dāng)所述離合組件與傳動組件脫離時，干涉儀本體(1)上升過程中伸縮蓋板(10)保持在主蓋板(9)內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于白光干涉儀的多功能新型檢測平臺，其特征在于：所述狀態(tài)選擇機構(gòu)包括有設(shè)置在所述儀器固定臺(2)端面且位于開口(6)兩側(cè)的限位座(31)，所述主蓋板(9)的一側(cè)能貼合在限位座(31)的一側(cè)從而使其保持豎直向上狀態(tài)，在所述儀器固定臺(2)端面貫通設(shè)有能與第一通槽(11)對應(yīng)相連通通孔(32)，所述主蓋板(9)能豎直縮入所述通孔(32)內(nèi)，在所述儀器固定臺(2)端面還左右滑動有擋板(33)，所述擋板(33)能左右滑動在通孔(32)內(nèi)從而限制主蓋板(9)的移動。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于白光干涉儀的多功能新型檢測平臺，其特征在于：所述開板組件包括有設(shè)置在干涉儀本體(1)上端的圓柱體(41)，所述圓柱體(41)的兩端均向左右延伸并能頂動所述蓋板組件(7)從而使蓋板組件(7)開啟，所述離合組件包括有活動插設(shè)在伸縮蓋板(10)一側(cè)的離合板(42)，所述離合板(42)的移動能使其與圓柱體(41)連接或脫離，在所述主蓋板(9)兩側(cè)貫通設(shè)有滑槽(43)，所述離合板(42)能滑動設(shè)置在所述滑槽(43)內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于白光干涉儀的多功能新型檢測平臺，其特征在于：所述升降機構(gòu)包括左右對稱設(shè)置在所述儀器固定臺(2)內(nèi)的電機絲桿滑臺(51)，所述電機絲桿滑臺(51)的滑動塊與緩震底座(5)固定連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于白光干涉儀的多功能新型檢測平臺，其特征在于：所述緩震底座(5)包括有底座體(61)，所述底座體(61)上端為槽口(62)，干涉儀本體(1)的下端安裝有底板(63)，所述底板(63)活動設(shè)置在所述槽口(62)內(nèi)，并在底板(63)的下端四角處設(shè)有圓凸臺(64)，所述圓凸臺(64)下端設(shè)有導(dǎo)向桿(65)，所述導(dǎo)向桿(65)活動穿設(shè)在底座體(61)的下端，在所述圓凸臺(64)與底座體(61)底壁之間連接緩震彈簧(66)，在所述導(dǎo)向桿(65)的下端且位于底座體(61)下方設(shè)有螺栓(67)，在所述螺栓(67)上螺紋連接有螺母(68)，在所述導(dǎo)向桿(65)外上下活動套設(shè)有套筒(69)，所述套筒(69)的兩端分別抵靠在底座體(61)底端與螺母(68)之間。