[發(fā)明專(zhuān)利]一種激光波長(zhǎng)測(cè)量系統(tǒng)、激光波長(zhǎng)計(jì)算方法及計(jì)算系統(tǒng)

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210406141.8
• 申請(qǐng)日: 2022-04-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114485964A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-05-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃建軍;金鏢;廉哲;劉皓寒
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 蘇州聯(lián)訊儀器有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01J9/02
• 分類(lèi)號(hào): G01J9/02
• 代理公司: 北京智匯東方知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11391
• 代理人: 趙燕燕

1.一種激光波長(zhǎng)測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，包括：

分光裝置，用于將待測(cè)激光分成呈預(yù)設(shè)角度布置且分光比為50:50的反射光束和透射光束，所述反射光束和所述透射光束均為平行光束；

薄型斐索干涉腔、第一柱面鏡和第一線列探測(cè)器，依次設(shè)置于所述反射光束的下游且均與所述反射光束垂直，所述反射光束經(jīng)所述薄型斐索干涉腔和所述第一柱面鏡后在所述第一線列探測(cè)器上形成第一干涉條紋，所述第一線列探測(cè)器用于測(cè)量所述第一干涉條紋的相位和周期；

厚型斐索干涉腔、第二柱面鏡和第二線列探測(cè)器，依次設(shè)置于所述透射光束的下游且均與所述透射光束垂直，所述薄型斐索干涉腔的厚度小于所述厚型斐索干涉腔的厚度，所述透射光束經(jīng)所述厚型斐索干涉腔和所述第二柱面鏡后在所述第二線列探測(cè)器上形成第二干涉條紋，所述第二線列探測(cè)器用于測(cè)量所述第二干涉條紋的相位和周期。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光波長(zhǎng)測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，

所述薄型斐索干涉腔的厚度在0.05-2mm之間，所述厚型斐索干涉腔的厚度在5-20mm之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光波長(zhǎng)測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，

所述薄型斐索干涉腔包括依次布置的第一平板玻璃、第一反射膜、帶楔角且呈環(huán)形的第一玻璃環(huán)、第二反射膜和第二平板玻璃；

所述厚型斐索干涉腔包括依次布置的第三平板玻璃、第三反射膜、帶楔角且呈環(huán)形的第二玻璃環(huán)、第四反射膜和第四平板玻璃。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光波長(zhǎng)測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，

所述分光裝置包括中心對(duì)齊于同一直線且依次布置的光纖、光纖準(zhǔn)直器和離軸拋物面反射鏡，所述離軸拋物面反射鏡的焦點(diǎn)與所述光纖準(zhǔn)直器的出射端重合，所述離軸拋物面反射鏡用于將從所述光纖準(zhǔn)直器射出的發(fā)散光束轉(zhuǎn)變?yōu)槠叫泄馐龇止庋b置還包括位于所述平行光束下游的分光器，用于將所述平行光束分為所述反射光束和所述透射光束。

5.一種用于權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的激光波長(zhǎng)測(cè)量系統(tǒng)的激光波長(zhǎng)計(jì)算方法，其特征在于，包括：

根據(jù)所述第一線列探測(cè)器測(cè)得的第一干涉條紋的周期P和預(yù)先標(biāo)定的所述薄型斐索干涉腔的劈尖的第一角度α₁計(jì)算待測(cè)激光的第一波長(zhǎng)值；

根據(jù)所述第一線列探測(cè)器測(cè)得第一干涉條紋的陣列零單元處的第一相位Ф₁和所述第一波長(zhǎng)值計(jì)算所述薄型斐索干涉腔的第一厚度；

根據(jù)所述第一角度α₁、所述第一厚度、所述第一波長(zhǎng)值和所述第一相位Ф₁計(jì)算所述第一干涉條紋的第一級(jí)次m以及所述待測(cè)激光的第二波長(zhǎng)值；

根據(jù)所述第二線列探測(cè)器測(cè)得的第二干涉條紋的陣列零單元處的第二相位Ф₂、所述第一級(jí)次m和所述第二波長(zhǎng)值計(jì)算所述待測(cè)激光的第三波長(zhǎng)值，并將所述第三波長(zhǎng)值作為所述待測(cè)激光的最終波長(zhǎng)值。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光波長(zhǎng)計(jì)算方法，其特征在于，根據(jù)所述第一線列探測(cè)器測(cè)得的第一干涉條紋的周期P和預(yù)先標(biāo)定的所述薄型斐索干涉腔的劈尖的第一角度α₁計(jì)算待測(cè)激光的第一波長(zhǎng)值的步驟包括：

利用已知波長(zhǎng)的激光標(biāo)定所述薄型斐索干涉腔的劈尖的第一角度α₁；

根據(jù)以下公式計(jì)算所述第一波長(zhǎng)值：

。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光波長(zhǎng)計(jì)算方法，其特征在于，根據(jù)所述第一線列探測(cè)器測(cè)得第一干涉條紋的陣列零單元處的第一相位Ф₁和所述第一波長(zhǎng)值計(jì)算所述薄型斐索干涉腔的第一厚度的步驟包括：

根據(jù)以下公式計(jì)算所述第一厚度：

；

其中，int()為取整函數(shù)。