[發明專利]一種高電流探針臂測試裝置

有效

• 申請號: 202210404916.8
• 申請日: 2022-04-18
• 公開（公告）號: CN114814315B
• 公開（公告）日: 2023-09-22
• 發明（設計）人: 劉權;張海洋;劉偉;呂文波
• 申請（專利權）人: 蘇州伊歐陸系統集成有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R31/28
• 代理公司: 蘇州佳捷天誠知識產權代理事務所(普通合伙) 32516
• 代理人: 魏孝廉

本發明公開了一種高電流探針臂測試裝置，包括安裝座、針座、多觸點探針和壓蓋，所述針座通過螺絲固定在所述安裝座前端，所述多觸點探針安裝在所述針座上、并通過所述壓蓋夾持固定；所述安裝座為耐高溫絕緣安裝座，所述針座和所述壓蓋分別為金屬針座和金屬壓蓋、其表面均整體鍍金處理，所述多觸點探針表面也整體鍍金處理；所述針座的上端設置有用于固定線纜的線纜安裝部。本發明的針座、多觸點探針和壓蓋表面也均整體鍍金處理，這樣在高電流和高電壓測試工作時，多觸點探針前端的若干針腳所產生的溫度，可以通過其表面的覆金層快速的均勻傳導至針板上，然后通過針板上下表面分別傳導至針座和壓蓋上，以快速的降低測試探針的溫度。

技術領域

本發明涉及集成電路測試技術領域，具體涉及一種高電流探針臂測試裝置。

背景技術

直流探卡是檢測儀器與集成電路芯片之間的一種連接介質，探針卡將檢測設備的測試信號(電流或電壓)接觸到集成電路芯片上，達到測試的作用，并且非常重要的是需要穩定地傳送測試信號，目前最常用的探針卡是環氧樹脂型探卡，以及刀片探針卡，但此類型的探針卡無法滿足特定的一些測試，如：高電流、高電壓測試，針體的材質、鍍層、以及制作工藝上，無法讓高電流、高電壓通過針體傳輸信號，

一般的測試探針的質量主要體現，存在以下不足：

1、一般電流越高溫度也就越高，在高溫環境中測試，探針針體無法耐受高溫，探針容易損壞。

2、當所測試的芯片為大功率芯片時，功率較大，針體達不到導通大電流的能力。

發明內容

本發明解決的技術問題是提供一種單次接觸即可實現高電壓和高電流測量工作的探針臂測試裝置。

本發明解決其技術問題所采用的技術方案是：

一種高電流探針臂測試裝置，包括安裝座、針座、多觸點探針和壓蓋，所述針座通過螺絲固定在所述安裝座前端，所述多觸點探針安裝在所述針座上、并通過所述壓蓋夾持固定；所述安裝座為耐高溫絕緣安裝座，所述針座和所述壓蓋分別為金屬針座和金屬壓蓋、其表面均整體鍍金處理，所述多觸點探針表面也整體鍍金處理；所述針座的上端設置有用于固定線纜的線纜固定部。

進一步的，所述安裝座包括第一安裝部、第二安裝部和走線部，所述第一安裝部和所述第二安裝部分別左右設置，所述第二安裝部上端開槽形成所述走線部；所述第一安裝部用于所述高電流探針臂測試裝置的安裝固定，所述第二安裝部前端開有限位口，所述針座卡入所述限位口中、并通過螺絲安裝在第二安裝部下端。

進一步的，所述針座包括針座安裝部、探針安裝部和所述線纜固定部，所述針座安裝部和所述探針安裝部左右設置，所述線纜固定部設置在所述針座安裝部上端；所述針座安裝部用于所述針座與所述安裝座的安裝固定，所述探針安裝部包括探針安裝面，所述探針安裝面上開有若干定位孔，所述定位孔內安裝有定位銷，所述探針安裝面中間還開有探針固定螺孔。

進一步的，所述探針安裝面與水平面交叉向下傾斜，傾斜角度為40°～60°。

進一步的，所述線纜固定部上還包括限位塊，所述限位塊卡入到所述安裝座上設置的限位孔內以實現所述針座與所述安裝座的定位；所述限位塊上端還設置有用于高壓線纜固定的線纜安裝頭。

進一步的，所述多觸點探針包括針板，所述針板前端設置有若干針腳，所述針板中間開有用于定位的探針限位孔和用于固定的探針安裝孔。

進一步的，所述針板為矩形針板或矩形加梯形針板。

進一步的，所述若干針腳前下端的測試接觸區域均拋光處理，所述測試接觸區域的表面粒徑小于0.5μm。

進一步的，所述針腳數量最多設置有十二只針腳

進一步的，所述測試接觸區域的長度小于250μm，其寬度小于150μm。

本發明的有益效果是：