[發(fā)明專利]一種聲表面波氣體傳感器的鍍膜方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202210365600.2
• 申請日: 2022-04-08
• 公開（公告）號: CN114839261A
• 公開（公告）日: 2022-08-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王文;陸銘慧;何新軍;薛蓄峰;高旭;劉勛豐;朱穎
• 申請（專利權(quán)）人: 南昌航空大學
• 主分類號: G01N29/02
• 分類號: G01N29/02;G01N29/14;B05D7/24;B05D7/14;B05D3/02
• 代理公司: 北京方安思達知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11472
• 代理人: 陳琳琳;張紅生

1.一種聲表面波氣體傳感器的鍍膜方法，其特征在于，所述聲表面波氣體傳感器包括壓電基底(1)，其上表面設(shè)置聲表面波叉指換能器(2)及多個聲表面波反射柵(4)，聲表面波叉指換能器(2)和聲表面波反射柵(4)之間的聲傳播路徑部分為鍍膜區(qū)(3)，鍍膜區(qū)(3)表面設(shè)置表面粗糙的金屬膜(7)，鍍膜區(qū)上下兩側(cè)對稱設(shè)置鍍膜專用聲表面波叉指換能器(6)；

所述鍍膜方法的步驟包括：

1)旋涂或滴涂聚[甲基(4-羥基-4,4-雙-三氟代甲基)-丁-1-烯基]-硅氧烷溶液至鍍膜區(qū)(3)；

2)將聲表面波氣體傳感器在50-80℃的烘干溫度下，進行1-2小時的烘干；

3)在烘干期間，鍍膜專用聲表面波叉指換能器(6)交替產(chǎn)生聲表面波，驅(qū)動聚[甲基(4-羥基-4,4-雙-三氟代甲基)-丁-1-烯基]-硅氧烷溶液均勻分布在鍍膜區(qū)(3)的金屬膜(7)的表面上；

4)烘干完成后去除鍍膜專用聲表面波叉指換能器(6)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聲表面波氣體傳感器的鍍膜方法，其特征在于，所述鍍膜專用聲表面波叉指換能器(6)的諧振頻率為200MHz，所產(chǎn)生聲表面波的波長與聚[甲基(4-羥基-4,4-雙-三氟代甲基)-丁-1-烯基]-硅氧烷敏感分子的尺寸相同。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聲表面波氣體傳感器的鍍膜方法，其特征在于，步驟3)中，鍍膜專用聲表面波叉指換能器(6)間隔時間≤5秒交替產(chǎn)生聲表面波。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聲表面波氣體傳感器的鍍膜方法，其特征在于，所述金屬膜(7)的厚度為50-100nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聲表面波氣體傳感器的鍍膜方法，其特征在于，所述壓電基底(1)的基底材料為鈮酸鋰壓電材料、膽酸鋰壓電材料或石英壓電材料。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聲表面波氣體傳感器的鍍膜方法，其特征在于，所述聲表面波叉指換能器(2)、聲表面波反射柵(4)、金屬膜(7)及鍍膜專用聲表面波叉指換能器(6)的制作材料為鋁、銅和金中的一種或多種。