[發(fā)明專利]一種能夠減少半導(dǎo)體鍍膜應(yīng)力殘留的紋理擋板

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210354020.3
• 申請日: 2022-04-06
• 公開（公告）號: CN114752885A
• 公開（公告）日: 2022-07-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳立航;屈麟峰;廖光洪;鄭宣;楊佐東
• 申請（專利權(quán)）人: 重慶臻寶實業(yè)有限公司
• 主分類號: C23C14/02
• 分類號: C23C14/02
• 代理公司: 重慶樂泰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 50221
• 代理人: 郭澤培

1.一種能夠減少半導(dǎo)體鍍膜應(yīng)力殘留的紋理擋板，其特征在于：包括安裝支架、同軸轉(zhuǎn)動設(shè)置在所述安裝支架上的紋理形狀變換板和紋理形狀遮蔽板，所述紋理形狀變換板包括第一中心連接板、環(huán)形均布在所述第一中心連接板周向的至少兩組單紋理板，所述單紋理板上陣列均布設(shè)置有若干第一通孔，所述第一通孔內(nèi)配合有紋理模塊，所述紋理模塊上開設(shè)有所述紋理通孔，所述紋理形狀遮蔽板包括第二中心連接板、環(huán)形均布在所述第二中心連接板周向的至少兩組單遮蔽板，所述單遮蔽板與單紋理板一一對應(yīng)，所述單遮蔽板上均布設(shè)置有若干第二通孔，所述第二通孔與所述第一通孔一一對應(yīng)，部分所述第二通孔內(nèi)設(shè)置有遮蔽模塊，所述第二通孔的直徑不小于所述紋理通孔的外接圓直徑。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能夠減少半導(dǎo)體鍍膜應(yīng)力殘留的紋理擋板，其特征在于：所述單紋理板與單遮蔽板互為對稱，兩者均包括外板和內(nèi)板，所述單紋理板與單遮蔽板的內(nèi)板相對，所述外板的內(nèi)側(cè)形成與所述內(nèi)板配合的嵌槽，所述外板和內(nèi)板之間設(shè)置有彈性支撐裝置，所述嵌槽的底部開設(shè)有若干過孔，所述內(nèi)板外面固定有若干套筒，所述套筒伸入所述過孔內(nèi)且與所述過孔配合，所述單紋理板的套筒的內(nèi)側(cè)形成所述第一通孔，所述單遮蔽板的套筒內(nèi)側(cè)形成所述第二通孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述能夠減少半導(dǎo)體鍍膜應(yīng)力殘留的紋理擋板，其特征在于：所述內(nèi)板和外板之間相隔有容納腔，所述彈性支撐裝置包括彈簧，所述彈簧套設(shè)在一導(dǎo)桿上，所述導(dǎo)桿的一端與所述內(nèi)板固定連接，所述導(dǎo)桿的另一端伸出所述外板后通過一限位部限位。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述能夠減少半導(dǎo)體鍍膜應(yīng)力殘留的紋理擋板，其特征在于：所述單紋理板的容納腔內(nèi)填充有阻尼球，所述阻尼球包括橡膠球殼、填充在所述橡膠球殼內(nèi)的阻尼液，所述橡膠球殼表面開設(shè)有注入孔，所述注入孔內(nèi)安裝有擋塞。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的能夠減少半導(dǎo)體鍍膜應(yīng)力殘留的紋理擋板，其特征在于：所述安裝支架上固定有一轉(zhuǎn)軸，所述第一中心連接板和第二中心連接板分別與所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動配合，所述紋理裝置還包括中間支撐板，所述中間支撐板同時與所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動配合，所述中間支撐板上均布設(shè)置有若干第三通孔。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的能夠減少半導(dǎo)體鍍膜應(yīng)力殘留的紋理擋板，其特征在于：所述中間支撐板的下側(cè)固定設(shè)置有一支板，所述支板上設(shè)置有接近開關(guān)，所述單紋理板和單遮蔽板上設(shè)置有與所述接近開關(guān)對應(yīng)的感應(yīng)器。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的能夠減少半導(dǎo)體鍍膜應(yīng)力殘留的紋理擋板，其特征在于：所述紋理模塊上開設(shè)有凸棱，所述第一通孔內(nèi)開設(shè)有與所述凸棱對應(yīng)的通槽，所述紋理模塊滑動設(shè)置在所述第一通孔內(nèi)；所述中間支撐板采用電磁鐵材料制成，所述中間支撐板通過導(dǎo)線連接至電源，所述中間支撐板在通電后能夠吸引所述紋理模塊。

8.根據(jù)權(quán)利要求4-7任一項所述的能夠減少半導(dǎo)體鍍膜應(yīng)力殘留的紋理擋板，其特征在于：所述安裝支架包括底板、設(shè)置在所述底板上的轉(zhuǎn)動板、將所述底板與轉(zhuǎn)動板固定的第一鎖緊裝置、固定在所述轉(zhuǎn)動板上的兩個支座、滑動插入所述支座的立柱、將所述支座與立柱固定的第二鎖緊裝置，所述轉(zhuǎn)軸固定設(shè)置在兩根立柱的上端。