[發明專利]一種用于輝光放電質譜儀的樣品裝置及樣品測試方法

在審

• 申請號: 202210290349.8
• 申請日: 2022-03-23
• 公開（公告）號: CN114724918A
• 公開（公告）日: 2022-07-08
• 發明（設計）人: 錢榮;沈世音;朱月琴;卓尚軍;盛成
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海硅酸鹽研究所
• 主分類號: H01J49/04
• 分類號: H01J49/04;G01N27/68
• 代理公司: 上海瀚橋專利代理事務所(普通合伙) 31261
• 代理人: 曹芳玲;簡丹

1.一種用于輝光放電質譜儀的樣品裝置，包括第二陰極進樣裝置，其特征在于，所述第二陰極進樣裝置包括具有敞口的殼體、鏤空金屬片和彈簧嵌件，所述鏤空金屬片具有鏤空圖案，并固定在所述殼體的敞口上，所述彈簧嵌件固定在所述殼體的內部、并處于壓縮狀態，樣品夾持在所述鏤空金屬片和彈簧嵌件之間。

2.根據權利要求1所述用于輝光放電質譜儀的樣品裝置，其特征在于，所述殼體在敞口處設有用于固定所述鏤空金屬片的凹槽。

3.根據權利要求1或2所述用于輝光放電質譜儀的樣品裝置，其特征在于，所述鏤空金屬片為鋁、銅、鉭、金、鉑、或鎢片。

4.根據權利要求1-3任一項所述用于輝光放電質譜儀的樣品裝置，其特征在于，所述第二陰極進樣裝置的體積小于所述輝光放電池的容積，以能安放于所述輝光放電池中。

5.一種使用如權利要求1-4任一項所述的樣品裝置進行輝光放電質譜儀測試的方法，其特征在于，包括如下步驟：

分別將待測樣品與鏤空金屬片預先依次用稀酸、超純水、無水乙醇清洗，烘干；

將清洗好的樣品裝入第二陰極進樣裝置內；

將裝有樣品的第二陰極進樣裝置抽真空后送入輝光放電質譜儀的輝光放電池中；

連接直流源，調整合適的放電氣壓、放電電流和電壓進行放電；

對所述樣品的待測元素進行掃描并記錄信號強度。

6.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述樣品包括各種尺寸的晶體、陶瓷、玻璃或其它導體、半導體及非導體材料。

7.根據權利要求5或6所述的方法，其特征在于，在清洗樣品時，先將樣品于稀硝酸中進行超聲清洗，再于超純水中超聲清洗兩次，最后用無水乙醇洗凈，烘干。

8.根據權利要求5-7任一項所述的方法，其特征在于，所述信號強度的顯示模式為電流模式或電壓模式。