[發明專利]一種LIG材料、其制備方法及應用有效
| 申請號: | 202210239271.7 | 申請日: | 2022-03-11 |
| 公開(公告)號: | CN114560460B | 公開(公告)日: | 2023-05-12 |
| 發明(設計)人: | 黃乾明;葉懷宇;楊薈茹 | 申請(專利權)人: | 南方科技大學 |
| 主分類號: | C01B32/184 | 分類號: | C01B32/184 |
| 代理公司: | 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 劉桐亞 |
| 地址: | 518000 廣東省*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 lig 材料 制備 方法 應用 | ||
1.一種LIG材料,其特征在于,其制備方法包括:以殼寡糖為前驅體材料,將所述前驅體材料制備成薄膜試樣,然后利用激光器對所述薄膜試樣進行激光誘導還原,以得到所述LIG材料;
所述激光器采用紅外激光器中的二氧化碳激光器,并控制步進速度為20-40mm/s,步進像素為1-5;
所述薄膜試樣的制備過程包括:將所述前驅體材料溶解得到混合溶液,然后對所述混合溶液先進行除泡,然后將所述混合溶液涂覆于模具上,再進行干燥以形成所述薄膜試樣;
所述殼寡糖的分子量小于3200;
所述混合溶液中所述前驅體材料的濃度為0.05-0.3g?/mL。
2.根據權利要求1所述的LIG材料,其特征在于,干燥溫度為60-80℃,干燥時間為60-80h。
3.根據權利要求2所述的LIG材料,其特征在于,在制備所述混合溶液的過程中還加入摻雜原料,所述摻雜原料選自焦炭、木炭、石墨、石墨烯氧化物、纖維素和木質素中的至少一種。
4.根據權利要求1所述的LIG材料,其特征在于,所述混合溶液中所述前驅體材料的濃度為0.10-0.15g/mL。
5.根據權利要求1所述的LIG材料,其特征在于,所述除泡是將所述混合溶液靜置3-15min。
6.一種權利要求1-5中任一項所述LIG材料的制備方法,其特征在于,以殼寡糖為前驅體材料,將所述前驅體材料制備成薄膜試樣,然后利用激光器對所述薄膜試樣進行激光誘導還原,以得到所述LIG材料;
所述激光器采用紅外激光器中的二氧化碳激光器,并控制步進速度為20-40mm/s,步進像素為1-5;
所述薄膜試樣的制備過程包括:將所述前驅體材料溶解得到混合溶液,然后對所述混合溶液先進行除泡,然后將所述混合溶液涂覆于模具上,再進行干燥以形成所述薄膜試樣;
所述殼寡糖的分子量小于3200;
所述混合溶液中所述前驅體材料的濃度為0.05-0.3g?/mL。
7.權利要求1-5中任一項所述的LIG材料在半導體制造或封裝中的應用。
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