[發明專利]一種用于TAIKO晶圓加工的去環工作臺

在審

• 申請號: 202210235637.3
• 申請日: 2022-03-11
• 公開（公告）號: CN114643650A
• 公開（公告）日: 2022-06-21
• 發明（設計）人: 胡章坤;周鑫;蔡國慶;葛凡;張寧寧
• 申請（專利權）人: 江蘇京創先進電子科技有限公司
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00;B28D7/00;B28D7/04;H01L21/02
• 代理公司: 蘇州言思嘉信專利代理事務所(普通合伙) 32385
• 代理人: 普冰清

1.一種用于TAIKO晶圓加工的去環工作臺，包括工作臺面(1)、模組(2)、支撐架(3)、與氣缸(5)，其特征在于：所述工作臺面(1)的底端與模組(2)的輸出端固定連接，所述支撐架(3)的底端固定連接有底座(10)，所述支撐架(3)的一側通過螺栓固定連接有第一固定板(9)，所述第一固定板(9)的一側通過螺栓與模組(2)固定連接，所述工作臺面(1)的另一側通過螺栓固定連接有第三固定板(20)，所述第三固定板(20)通過螺栓固定連接有滑塊(11)，所述工作臺面(1)的底端固定連接有第三連接板(21)，所述第三連接板(21)的頂端固定連接有第二固定板(25)，所述第二固定板(25)的頂端固定連接有第一連接板(18)，所述第一連接板(18)的頂端固定連接有吸附定位盤(19)，所述工作臺面(1)的頂端設有吸附定位盤(19)，所述工作臺面(1)的頂端設有外框(26)，所述外框(26)的內部設有固定槽(4)，所述固定槽(4)內部放置有晶圓(6)，所述晶圓(6)的外壁通過膜連接有框架(7)，所述工作臺面(1)的頂端設有安裝槽(8)，所述工作臺面(1)的頂端設有滑動槽(16)，所述安裝槽(8)的內部固定連接有連接座(15)，所述連接座(15)與氣缸(5)通過螺栓固定連接，所述氣缸(5)的輸出端固定連接有限位板(24)，所述限位板(24)的一側固定連接有第二固定板(14)，所述連接座(15)與第二固定板(14)呈九十度夾角，所述滑動槽(16)的內部固定連接有安裝座(17)，所述安裝座(17)的頂端固定連接有外框固定件(22)，所述外框固定件(22)的頂端固定連接有推塊(23)。

2.根據權利要求1所述的一種用于TAIKO晶圓加工的去環工作臺，其特征在于：所述外框固定件(22)與滑塊(11)的輸出端固定連接，所述模組(2)的一側固定連接有固定件(13)，所述滑塊(11)的頂端固定連接有外框(26)。

3.根據權利要求2所述的一種用于TAIKO晶圓加工的去環工作臺，其特征在于：所述模組(2)通過電機帶動工作臺面(1)上下移動，所述吸附定位盤(19)分別與第一連接板(18)、第二連接板(25)、第三連接板(21)相互連接，所述吸附定位盤(19)對晶圓(6)進行吸附定位。

4.根據權利要求3所述的一種用于TAIKO晶圓加工的去環工作臺，其特征在于：所述(1)的內部固定連接有第四固定板(12)，所述模組(2)與第四固定板(12)通過電性連接，所述吸附定位盤(19)與滑塊(11)的輸出端相互連接，所述氣缸(5)與模組(2)通過電性連接，所述滑塊(11)與模組(2)通過電性連接。

5.根據權利要求4所述的一種用于TAIKO晶圓加工的去環工作臺，其特征在于：所述工作臺面(1)的內部設有第二連接板(25)，所述第二連接板(25)的內壁與第一連接板(18)的外壁相匹配。

6.根據權利要求5所述的一種用于TAIKO晶圓加工的去環工作臺，其特征在于：所述支撐架(3)的外側設置有多個安裝孔，所述底座(10)的兩側均設有多個固定孔。

7.根據權利要求6所述的一種用于TAIKO晶圓加工的去環工作臺，其特征在于：所述安裝槽(8)的數量設置為四個，所述安裝槽(8)呈環形等距分布在固定槽(4)的外側。

8.根據權利要求7所述的一種用于TAIKO晶圓加工的去環工作臺，其特征在于：所述滑動槽(16)的數量設置為四個，所述滑動槽(16)呈環狀等距分布在固定槽(4)的外側，所述滑動槽(16)與安裝槽(8)依次交替等距分布在固定槽(4)的外側。