[發(fā)明專利]一種圖像檢測方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210199232.9
• 申請日: 2022-03-02
• 公開（公告）號: CN114565585A
• 公開（公告）日: 2022-05-31
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 閔珊珊;林佳;魏祥英;杜婷婷;孫邦元;李洪亮;譚勝旺;申淙
• 申請（專利權(quán)）人: 北京半導體專用設(shè)備研究所（中國電子科技集團公司第四十五研究所）
• 主分類號: G06T7/00
• 分類號: G06T7/00;G06T7/62
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 高燕

1.一種圖像檢測方法，其特征在于，所述方法包括：

獲取半導體掩膜工件的對準標記圖像，其中，所述對準標記圖像包括至少一個對準標記，所述至少一個對準標記為預先設(shè)置在所述半導體掩膜工件上的用于對所述半導體掩膜工件進行對準的標記；

從所述對準標記圖像中提取至少一個局部圖像，其中，每個局部圖像中包含對應(yīng)的一個對準標記；

針對每個局部圖像，確定該局部圖像的局部圖像檢測值；

確定所述對準標記圖像的全局圖像檢測值；

根據(jù)至少一個局部圖像檢測值和所述全局圖像檢測值，確定所述對準標記圖像的圖像質(zhì)量。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，從所述對準標記圖像中提取至少一個局部圖像的步驟包括：

確定每個對準標記在所述對準標記圖像中的圖像位置；

針對每個對準標記，生成與該對準標記對應(yīng)的檢測框，在所述檢測框中包含該對準標記；

針對每個對準標記，將與該對準標記對應(yīng)的檢測框中的圖像，確定為一個局部圖像。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，通過以下方式確定每個局部圖像的局部圖像檢測值：

確定該局部圖像中的對準標記的邊緣線和邊緣點；

根據(jù)所述邊緣線和所述邊緣點，確定出該局部圖像中的對準標記對應(yīng)的對準標記區(qū)域；

將該局部圖像中對準標記區(qū)域之外的區(qū)域確定為空白區(qū)域；

根據(jù)對準標記區(qū)域的灰度值和空白區(qū)域的灰度值，確定該局部圖像的局部圖像檢測值。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，每個局部圖像檢測值包括局部圖像對比度值，

其中，通過以下步驟確定每個局部圖像的局部圖像對比度值：

確定所述對準標記區(qū)域的第一平均灰度值；

確定所述空白區(qū)域的第二平均灰度值；

將該局部圖像中的所述對準標記區(qū)域的第一平均灰度值和該局部圖像中的空白區(qū)域的第二平均灰度值的比值，確定為該局部圖像的局部圖像對比度值。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，每個局部圖像檢測值還包括局部圖像清晰度值，

其中，通過以下步驟確定每個局部圖像的局部圖像清晰度值：

根據(jù)該局部圖像中的空白區(qū)域內(nèi)的每個像素點的灰度值以及與各像素點相鄰的參考像素點的灰度值，確定出該局部圖像的局部圖像清晰度值。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，通過以下公式確定所述對準標記區(qū)域的第一平均灰度值：

其中，GrayMeanValue為該局部圖像的對準標記區(qū)域的圖像的第一平均灰度值，f(x，y)為該局部圖像的對準標記區(qū)域的圖像的每個像素點的灰度值，Area_mean為該局部圖像的對準標記區(qū)域的面積。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，通過以下公式確定所述空白區(qū)域的第二平均灰度值：

其中，GrayValue_outer為該局部圖像的空白區(qū)域的第二平均灰度值，f(x，y)_outer為該局部圖像的空白區(qū)域的每個像素點的灰度值，Area_outer為該局部圖像的空白區(qū)域的面積。