[發(fā)明專(zhuān)利]加熱組件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210194221.1
• 申請(qǐng)日: 2022-03-01
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN115397049B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-04-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金龍洙;金亨源;鄭熙錫
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 吉佳藍(lán)科技股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01J37/32
• 分類(lèi)號(hào): H01J37/32;H01L21/687;H01L21/00;H05B3/20
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;許京文

本發(fā)明的一實(shí)施例公開(kāi)一種加熱組件，包括：加熱部件，其形成為產(chǎn)生熱；加熱體部，其接收由所述加熱部件產(chǎn)生的熱；以及熱傳遞部件，其配置于所述加熱體部與所述加熱部件之間的至少一個(gè)區(qū)域。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種加熱組件。

背景技術(shù)

隨著技術(shù)的發(fā)展，制造和使用多樣的電氣、電子器件，這些電子器件可以通過(guò)多樣的工藝形成電氣或電子特性。

此外，在這些電子器件中形成電氣或電子特性的多樣的工藝中使用半導(dǎo)體工藝，該半導(dǎo)體工藝?yán)脷怏w或由氣體生成的等離子體。

在這種半導(dǎo)體工藝過(guò)程中為了防止氣體凝結(jié)成團(tuán)，可以使用包括加熱部件的裝置以向氣體施加熱。

另一方面，當(dāng)根據(jù)半導(dǎo)體工藝的多樣的條件和種類(lèi)而利用加熱部件時(shí)，在有效傳遞熱的方面存在局限性。

發(fā)明內(nèi)容

技術(shù)問(wèn)題

本發(fā)明可以提供減少熱損失并提高熱傳遞效率的加熱組件。

技術(shù)方案

本發(fā)明的一實(shí)施例公開(kāi)一種加熱組件，包括：加熱部件，其形成為產(chǎn)生熱；加熱體部，其接收由所述加熱部件產(chǎn)生的熱；以及熱傳遞部件，其配置于所述加熱體部與所述加熱部件之間的至少一個(gè)區(qū)域，所述加熱體部包括與所述熱傳遞部件對(duì)應(yīng)地形成的凹槽，所述加熱部件配置為與所述凹槽的內(nèi)側(cè)面的至少一個(gè)區(qū)域相向，所述熱傳遞部件包括在所述加熱部件與所述凹槽的內(nèi)側(cè)面之間與所述加熱部件和所述凹槽的內(nèi)側(cè)面相向地形成的側(cè)面部件。

在本實(shí)施例中，所述熱傳遞部件當(dāng)配置于所述凹槽時(shí)至少一個(gè)區(qū)域可以從所述凹槽凸出地配置。

在本實(shí)施例中，所述熱傳遞部件可以形成為包括上側(cè)部件，該上側(cè)部件形成為覆蓋所述加熱部件的上面。

在本實(shí)施例中，所述側(cè)面部件可以連接于所述上側(cè)部件并且形成為至少對(duì)應(yīng)于所述加熱部件的相向的兩個(gè)側(cè)面。

在本實(shí)施例中，所述上側(cè)部件可以包括與所述加熱部件相向的相向面，所述上側(cè)部件的相向面形成為具有與所述加熱部件的上面對(duì)應(yīng)的形態(tài)。

在本實(shí)施例中，所述熱傳遞部件包括下側(cè)部件，該下側(cè)部件與所述側(cè)面部件連接并且配置為隔著所述加熱部件與所述上側(cè)部件相向。

在本實(shí)施例中，所述加熱組件可以包括夾具部，其配置于所述加熱體部上并且形成為支撐所述熱傳遞部件的一個(gè)區(qū)域。

在本實(shí)施例中，所述夾具部可以以向所述熱傳遞部件的外面的一個(gè)區(qū)域施加壓力的方法固定所述加熱部件。

在本實(shí)施例中，所述夾具部可以配置為不對(duì)應(yīng)于所述凹槽的內(nèi)側(cè)空間且與所述凹槽的內(nèi)側(cè)空間間隔開(kāi)。

在本實(shí)施例中，所述夾具部可以形成為具有從在所述加熱體部的一面中與所述凹槽間隔開(kāi)的區(qū)域延伸成與所述凹槽的至少一個(gè)區(qū)域重疊的位置對(duì)應(yīng)的形態(tài)。

在本實(shí)施例中，所述夾具部可以形成為在與所述凹槽間隔開(kāi)的區(qū)域和與所述凹槽的至少一個(gè)區(qū)域重疊的區(qū)域之間具有彎曲的形態(tài)。

在本實(shí)施例中，所述加熱組件可以在所述側(cè)面部件與所述加熱部件之間的至少一個(gè)區(qū)域形成有間隔開(kāi)的空間。

除前已述及之外的其他方面、特征、優(yōu)點(diǎn)將從下面的附圖、權(quán)利要求書(shū)和本發(fā)明的詳細(xì)描述中變得清楚。

發(fā)明的效果

本發(fā)明的加熱組件可以減少熱損失并且容易地提高熱傳遞效率。

附圖說(shuō)明

圖1是示出關(guān)于本發(fā)明的一實(shí)施例的加熱組件的示意性的剖視圖。

圖2是從一個(gè)方向觀察圖1的加熱組件的示例性的立體圖。