[發明專利]粒子輻射設備及其操作方法和計算機程序產品

在審

• 申請號: 202210117944.1
• 申請日: 2022-02-08
• 公開（公告）號: CN114944316A
• 公開（公告）日: 2022-08-26
• 發明（設計）人: B.加姆;C.比爾
• 申請（專利權）人: 卡爾蔡司顯微鏡有限責任公司
• 主分類號: H01J37/26
• 分類號: H01J37/26;H01J37/28;G01N23/04;G01N23/2251
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 王蕊瑞

1.一種用于操作粒子輻射設備(100，200，400)的方法，該粒子輻射設備利用具有帶電粒子的粒子射束對物體(125，425)進行成像、加工和/或分析，其中該方法包括以下步驟：

-通過使用該粒子輻射設備(100，200，400)的控制單元(123)操控第一放大器單元(602)和第二放大器單元(603)來從該粒子輻射設備(100，200，400)的第一放大倍率范圍中選擇一個放大倍率；

-通過使用將該控制單元(123)與該粒子輻射設備(100，200，400)的數字-模擬轉換器(601)相連的第一信號線路(701)，將數字控制信號從該控制單元(123)輸送至該數字-模擬轉換器(601)，其中該數字控制信號用來引導該粒子射束經過該物體(125，425)；

-基于該數字控制信號，借助該數字-模擬轉換器(601)生成模擬控制信號；

-通過使用將該數字-模擬轉換器(601)與該第一放大器單元(602)相連的第二信號線路(702)，將該模擬控制信號從該粒子輻射設備(100，200，400)的數字-模擬轉換器(601)輸送至該第一放大器單元(602)；

-基于該模擬控制信號，借助于該第一放大器單元(602)生成模擬第一放大器信號；

-通過使用第三信號線路(703)，將該模擬第一放大器信號從該粒子輻射設備(100，200，400)的第一放大器單元(602)輸送至該第二放大器單元(603)，其中該第一放大器單元(602)被布置在該數字-模擬轉換器(601)與該第二放大器單元(603)之間，并且其中該第三信號線路(703)將該第一放大器單元(602)與該第二放大器單元(603)相連；

-基于該模擬第一放大器信號，借助于該第二放大器單元(603)生成模擬第二放大器信號；

-通過使用該粒子輻射設備(100，200，400)的控制單元(123)來確定從該第一放大倍率范圍中選出的放大倍率與第二放大倍率范圍的邊界是否有偏差，其中該第一放大倍率范圍和該第二放大倍率范圍是不同的，其中該第一放大倍率范圍所包括的該粒子輻射設備(100，200，400)的放大倍率小于來自該第二放大倍率范圍的該粒子輻射設備(100，200，400)的放大倍率；

-確定該物體(125，425)的表面上的、該粒子射束應被引導到的像素的數量是否低于可預先給定的像素閾值；以及

-如果(a)所選出的放大倍率與該第二放大倍率范圍的邊界有偏差以及該偏差小于可預先給定的值，并且如果(b)這些像素的數量低于該可預先給定的像素閾值，則在無需將該放大倍率切換到來自該第二放大倍率范圍的放大倍率的情況下執行以下步驟：

(i)通過使用將該第二放大器單元(603)與該粒子輻射設備(100，200，400)的掃描單元(604)相連的第四信號線路(704)，將該模擬第二放大器信號從該第二放大器單元(603)輸送至該掃描單元(604)；

(ii)通過使用該掃描單元(604)引導該粒子輻射設備(100，200，400)的粒子射束經過該物體(125，425)；以及

(iii)利用該粒子射束對該物體(125，425)進行成像、加工和/或分析。

2.根據權利要求1所述的方法，其中該方法包括以下步驟：如果(a)所選出的放大倍率與該第二放大倍率范圍的邊界有偏差以及該偏差小于可預先給定的值，并且如果(b)這些像素的數量大于該可預先給定的像素閾值，則執行以下步驟：

(i)通過使用該粒子輻射設備(100，200，400)的控制單元(123)操控該第一放大器單元(602)和該第二放大器單元(603)來從該粒子輻射設備(100，200，400)的第二放大倍率范圍中選擇一個放大倍率；

(ii)通過使用將該第二放大器單元(603)與該粒子輻射設備(100，200，400)的掃描單元(604)相連的該第四信號線路(704)，將該模擬第二放大器信號從該第二放大器單元(603)輸送至該掃描單元(604)；

(iii)通過使用該掃描單元(604)引導該粒子輻射設備(100，200，400)的粒子射束經過該物體(125，425)；以及

(iv)利用該粒子射束對該物體(125，425)進行成像、加工和/或分析。