[發(fā)明專利]一種用于半導(dǎo)體晶圓傳輸系統(tǒng)的多級(jí)升降機(jī)構(gòu)

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210104619.1
• 申請(qǐng)日: 2022-01-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114436161A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-05-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡啟凡;王晨旭;朱駿馳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海廣川科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B66F7/14
• 分類(lèi)號(hào): B66F7/14;B66F7/28;H01L21/677
• 代理公司: 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 徐琳;吳世華

本發(fā)明涉及機(jī)械制造的技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)了一種用于半導(dǎo)體晶圓傳輸系統(tǒng)的多級(jí)升降機(jī)構(gòu)，包括上下依次串聯(lián)的多個(gè)升降單元，每個(gè)所述升降單元均包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)采用同步帶傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，其一端與一級(jí)升降機(jī)構(gòu)相連，另一端與二級(jí)升降機(jī)構(gòu)相連，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于同時(shí)帶動(dòng)一級(jí)升降機(jī)構(gòu)、二級(jí)升降機(jī)構(gòu)上下運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)整個(gè)二級(jí)升降機(jī)構(gòu)沿一級(jí)升降機(jī)構(gòu)上下運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)相鄰兩個(gè)升降單元中上端的升降單元沿二級(jí)升降機(jī)構(gòu)上下運(yùn)動(dòng)。整個(gè)裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，組裝簡(jiǎn)單，維護(hù)難度低，便于推廣應(yīng)用。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及機(jī)械制造的技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于半導(dǎo)體晶圓傳輸系統(tǒng)的多級(jí)升降機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體晶圓搬送類(lèi)設(shè)備多應(yīng)用于高潔凈度、高定位精度的運(yùn)動(dòng)場(chǎng)合，并且機(jī)器人受限于狹窄空間內(nèi)，對(duì)升降軸行程有高要求的工況?，F(xiàn)有技術(shù)中對(duì)于單純升降裝置而言，已經(jīng)比較成熟，從使用驅(qū)動(dòng)方式而言，有氣缸、電機(jī)、液壓等等，其具體機(jī)械傳動(dòng)結(jié)構(gòu)也是多種多樣，但在多級(jí)升降方案上，如僅單純通過(guò)增加驅(qū)動(dòng)部，裝置經(jīng)濟(jì)效益差，且精度難以保證；如僅增加機(jī)械傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，像增加滑輪或者齒輪數(shù)量，則不能適用重載場(chǎng)合，且傳動(dòng)復(fù)雜，易造成積累誤差，控制精度不高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供了一種用于半導(dǎo)體晶圓傳輸系統(tǒng)的多級(jí)升降機(jī)構(gòu)，每個(gè)升降單元僅使用單個(gè)驅(qū)動(dòng)元件，經(jīng)濟(jì)性好，雖可實(shí)現(xiàn)兩級(jí)升降，但裝置中未使用多級(jí)傳動(dòng)，系統(tǒng)響應(yīng)性好。

本發(fā)明可通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

一種用于半導(dǎo)體晶圓傳輸系統(tǒng)的多級(jí)升降機(jī)構(gòu)，包括上下依次串聯(lián)的多個(gè)升降單元，每個(gè)所述升降單元均包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)采用同步帶傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，其一端與一級(jí)升降機(jī)構(gòu)相連，另一端與二級(jí)升降機(jī)構(gòu)相連，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于同時(shí)帶動(dòng)一級(jí)升降機(jī)構(gòu)、二級(jí)升降機(jī)構(gòu)上下運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)整個(gè)二級(jí)升降機(jī)構(gòu)沿一級(jí)升降機(jī)構(gòu)上下運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)相鄰兩個(gè)升降單元中上端的升降單元沿二級(jí)升降機(jī)構(gòu)上下運(yùn)動(dòng)。

進(jìn)一步，所述一級(jí)升降機(jī)構(gòu)、二級(jí)升降機(jī)構(gòu)均采用滾珠絲杠結(jié)構(gòu)，與一級(jí)升降機(jī)構(gòu)中的絲桿平行設(shè)置有兩個(gè)一級(jí)滑軌，與二級(jí)升降機(jī)構(gòu)中的絲桿平行設(shè)置有兩個(gè)二級(jí)滑軌，

在兩個(gè)所述一級(jí)滑軌上設(shè)置有安裝板，在所述安裝板上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、二級(jí)升降機(jī)構(gòu)，在兩個(gè)所述二級(jí)滑軌上設(shè)置有相鄰兩個(gè)升降單元中上端的升降單元，

所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的一端與一級(jí)升降機(jī)構(gòu)的螺母連接，另一端與二級(jí)升降機(jī)構(gòu)中絲桿的一端連接，用于帶動(dòng)安裝板沿兩個(gè)一級(jí)滑軌上下運(yùn)動(dòng)，同時(shí)帶動(dòng)相鄰兩個(gè)升降單元中上端的升降單元沿兩個(gè)二級(jí)滑軌上下運(yùn)動(dòng)。

進(jìn)一步，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括電動(dòng)機(jī)，所述電動(dòng)機(jī)的輸出軸上安裝有一級(jí)主動(dòng)輪和二級(jí)主動(dòng)輪，

所述一級(jí)主動(dòng)輪通過(guò)一級(jí)同步帶與一級(jí)從動(dòng)輪相連，所述一級(jí)從動(dòng)輪設(shè)置在一級(jí)升降機(jī)構(gòu)的螺母上，所述二級(jí)主動(dòng)輪通過(guò)二級(jí)同步帶與二級(jí)從動(dòng)輪相連，所述二級(jí)從動(dòng)輪設(shè)置在二級(jí)升降機(jī)構(gòu)中絲桿的一端。

進(jìn)一步，所述一級(jí)從動(dòng)輪套裝在一級(jí)升降機(jī)構(gòu)的螺母上，兩者緊配合；

所述二級(jí)從動(dòng)輪套裝在二級(jí)升降機(jī)構(gòu)的絲桿上，兩者緊配合。

進(jìn)一步，所述安裝板采用L形結(jié)構(gòu)，其一面設(shè)置在一級(jí)升降機(jī)構(gòu)的螺母上以及通過(guò)一級(jí)滑塊設(shè)置在一級(jí)滑軌上，另一面與二級(jí)升降機(jī)構(gòu)的基板相連，所述基板用于承載整個(gè)二級(jí)升降機(jī)構(gòu)的安裝。

進(jìn)一步，相鄰兩個(gè)升降單元中上端的升降單元設(shè)置在二級(jí)升降機(jī)構(gòu)的螺母上以及通過(guò)二級(jí)滑塊設(shè)置在二級(jí)滑軌上。

本發(fā)明有益的技術(shù)效果在于：